Know-how im Bereich Elektronikfertigung: Beschichten | Ätzen | Reinigen

scia Systems bietet Technologien und Prozessanlagen für verschiedene mikroelektronische Anwendungen an:

  • Intelligente Sensorik
    z. B. biotechnologische Sensoren, Lab-on-chip-Systeme, GMR, TMR, IR-Sensoren
     

  • Hochfrequenzelektronik
    z. B. BAW, SAW
     

  • Kosteneffiziente Leistungselektronik
    Advanced Silicon & darüber hinaus
     

  • Systemintegration durch fortschrittliches Elektronik-Packaging
    z. B. Multichip-Gehäuse, SiPs, 3D-Gehäuse

MEMS Application-Notes

SENSOR Application-Notes

Ein System für all Ihre Prozesse: scia Cluster 200

Unabhängig davon, ob Sie mehrere Kammern für einen bestimmten Prozess benötigen oder ob Sie unser umfangreiches Prozess-Know-how kombinieren möchten - wir haben das ideale Cluster-Layout für Sie!

  • Ionenstrahltrimmen (IBT)
  • (Reaktives) Ionenstrahlätzen (RIBE)
  • (Duales) Ionenstrahlsputtern (DIBD)
  • Magnetronsputtern (PVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Plasma-gestütztes CVD (PEVCD)
  • Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Elektronenstrahlverdampfen (EBE)

Ausgewählte Systeme für die Produktion von Mikroelektronik

Fragen Sie nach Ihrer individuellen Lösung!

* Pflichtfeld

scia Systems GmbH
Clemens-Winkler-Str. 6c
09116 Chemnitz

☎   +49 371 33561-561

✉   sales@scia-systems.com