Know-how im Bereich Elektronikfertigung: Beschichten | Ätzen | Reinigen

Die Anforderungen an moderne Elektronik wachsen stetig: Sie soll eine höhere Leistung, geringere Abmessungen und maximale Zuverlässigkeit bieten.

Mit unseren hochmodernen Vakuumprozessanlagen können Hersteller weltweit mikro- und nanoelektronische Geräte auf höchstem Niveau produzieren. Unsere Technologien für Dünnschichtbeschichtung, Trockenätzen und Präzisionsreinigung sind für Anwendungen in intelligenten Sensoren, Hochfrequenzelektronik, Leistungselektronik sowie im Advanced Electronics Packaging von entscheidender Bedeutung.

Dank unseres umfangreichen Prozess-Know-hows entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen für Forschung und Industrie, beispielsweise für die Entwicklung von Next-Generation-Sensoren, die Optimierung von HF-Filtern oder die Fehleranalyse komplexer 3D-Packages.

 

scia Systems bietet Technologien und Prozessanlagen für verschiedene mikroelektronische Anwendungen an:

  • Intelligente Sensorik
    z. B. biotechnologische Sensoren, Lab-on-chip-Systeme, GMR, TMR, IR-Sensoren
     

  • Hochfrequenzelektronik
    z. B. BAW, SAW
     

  • Kosteneffiziente Leistungselektronik
    Advanced Silicon & darüber hinaus
     

  • Fehleranalyse und Reverse Engineering für modernes Advanced Electronics Packaging
    z. B. Multichip-Gehäuse, SiPs, 3D-Verpackungen

MEMS Application-Notes

SENSOR Application-Notes

Ausgewählte Systeme für die Produktion von Mikroelektronik

Mehr zum Thema

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Ionenstrahltechnologie als Wegbereiter für eine sich ständig weiterentwickelnde Sensorwelt

 

In diesem On-Demand-Webinar erläutert Marcel Demmler, Verkaufsleiter bei scia Systems, die Prinzipien und Vorteile des Ionenstrahlätzens, der Ionenstrahlabscheidung und der Plasmabearbeitung und wie diese Technologien die zuverlässige Herstellung von Sensoren der nächsten Generation ermöglichen.

 

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Ionenstrahl- und Plasmatechnologie zur Produktion von MEMS

 

Unsere Technologien für die Beschichtung mit dünnen Schichten, das Trockenätzen und die Präzisionsreinigung sind unverzichtbar für Anwendungen in den Bereichen intelligente Sensoren, Hochfrequenzelektronik, Leistungselektronik und fortschrittliche Elektronikverpackungen.

Im Video vorgestellte Technologien:

  • Optimierung der RF-Filter-Produktion durch Frequenztrimmung mit der scia Trim 200
  • Ionenstrahlbearbeitung von Wellenleitern für photonische integrierte Schaltungen (PIC)
  • Strukturierung von Mikrooptiken
  • Fehleranalyse und Reverse Engineering durch präzisen schichtweisen Materialabtrag
  • Verbesserung der Sensortechnologie mit erhöhter Empfindlichkeit und Energieeffizienz
  • Strukturierung von TMR-Sensoren durch Ionenstrahlätzen

Ein System für all Ihre Prozesse: scia Cluster 200

Unabhängig davon, ob Sie mehrere Kammern für einen bestimmten Prozess benötigen oder ob Sie unser umfangreiches Prozess-Know-how kombinieren möchten - wir haben das ideale Cluster-Layout für Sie!

  • Ionenstrahltrimmen (IBT)
  • (Reaktives) Ionenstrahlätzen (RIBE)
  • (Duales) Ionenstrahlsputtern (DIBD)
  • Magnetronsputtern (PVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Plasma-gestütztes CVD (PEVCD)
  • Atomlagenabscheidung (ALD)
  • Elektronenstrahlverdampfen (EBE)

Fragen Sie nach Ihrer individuellen Lösung!

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scia Systems GmbH
Clemens-Winkler-Str. 6c
09116 Chemnitz

☎   +49 371 33561-561

✉   sales@scia-systems.com