Aktuelle Nachrichten

Unsere neuste Magnetronsputteranlage scia Multi 500 wurde speziell für die Multilagenbeschichtungen von Optiken mit (Sub-)Nanometergenauigkeit entwickelt. Durch die präzise Positionierung des Substrats und eine synchronisierte lineare Bewegung und Rotation werden Gradientenschichten und eine hervorragende Homogenität der Abscheidung erreicht.

Das chinesische Unternehmen TJ Innovative Semiconductor Substrate Technology Co., Ltd. (ISST) hat sich mit seiner Gründung 2022 als Anbieter heterogener Integrationstechnologien für die Halbleiterindustrie am Markt positioniert. Für seine Erweiterungspläne und seine neuen Produktionslinien hat ISST nun eine scia Trim 200 erworben. Mit diesem System lassen sich Wafer-Oberflächen mittels Ionenstrahltrimmen ultra-präzise bearbeiten

Im Herzen des Wissenschaftsparks für Mikroelektronik in der Nanchang Hightech-Zone wurde im März 2022 die Runxin MEMS Technologies Co. Ltd. gegründet, eine neue industrielle Plattform für die MEMS-Produktion. Das Unternehmen erweitert nun seine Kapazitäten und hat dazu eine scia Trim 200 bestellt. Mit Hilfe dieses Ionenstrahltrimmsystems soll vor allem die Produktion von BAW- und SAW-Filtern effizienter werden. Durch das Trimmen der Schichtdicken kann die Ausbeute an funktionalen Bauteilen auf bis zu 90% zu gesteigert werden.

Wir freuen uns, den Verkauf einer Ionenstrahlätz-Anlage an eine weitere chinesische Top-C9-Universität bekannt geben zu dürfen: die Shanghai Jiao Tong University hat sich zu dem Kauf einer scia Mill 200 entschieden. Mit rund 40.000 Studenten bietet die SJTU Studienmöglichkeiten in neun Hauptdisziplinen: Wirtschaft, Recht, Literatur, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen, Landwirtschaft, Medizin, Management und Kunst. scia Systems wird die Universität in ihrem Ziel, eine "umfassende, innovative und internationale" Weltklasse-Universität zu werden, durch die Lieferung einer flexiblen Ionenstrahl-Ätzanlage unterstützen.

Die Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen ist mit über 47.000 Studierenden die zweitgrößte Universität für technische Studiengänge in Deutschland. Im dortigen Forschungslabor Mikroelektronik Aachen für 2D-Elektronik (ForLab 2D-ForME) soll die Machbarkeit einer großflächigen Herstellung von 2D-Schichten gezeigt werden. Die hierfür benötigten Geräte werden im Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie (ZMNT) und nun durch eine scia Coat 200 komplettiert.

Mit dem Projekt „Athena“ wird die Europäische Weltraumorganisation ESA das größte jemals gebaute Röntgenteleskop ins All schicken. Für das Ziel, tiefer ins Universum zu blicken als alle bisherigen Missionen, musste eine neue Art von Optik entwickelt werden. scia Systems, ein Hightech-Unternehmen mit Sitz in Chemnitz, liefert die entscheidende Technologie zur Herstellung dieser Optik.

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Magnetfeld­sensoren für flexible und tragbare Geräte sind in vielen Bereichen die Grundlage von Bewegungserkennung, z.B. Industrierobotik, über die Prothetik, bis hin zu Virtual- und Augmented-Reality-Anwendungen.

Sensoren, die auf dem Riesenmagnetowiderstandseffekt (Giant Magnetoresistance, GMR) beruhen, lassen sich mit Hilfe eines Polymerträgers auf Polymerfolien mit einer Materialdicke von 1 μm bis zu 150 μm drucken.

Diese GMR-Technologie stellt hohe Anforderungen an eine Beschichtungsanlage. So erfordern GMR-Stapel, die in der Regel aus mehreren, etwa 1 nm dicken Co- und Cu-Schichten bestehen (Abb. 1), eine Genauigkeit der Schichtdicke von besser als 0,1 nm. In unserer neuen Application Note geben wir einen Einblick in die Herstellung dieser Sensoren

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Silex Microsystems, die weltweit größte reine MEMS-Fertigungseinrichtung, baut seine Produktionsstätte in Peking, China aus. Vor kurzem wurde dort eine scia Trim 200 in Betrieb genommen, ein System zur präzisen Oberflächenkorrektur von Wafern bis zu 200 mm.

Die Anlage wird genutzt, um mittels lokalem Ionenstrahltrimmen Filter zu produzieren, welche für Hochfrequenztechnologie benötigt werden, zum Beispiel im Bereich WLAN oder mobile Kommunikation.

Der ersten Anlage, die nun erfolgreich an die Produktion übergeben wurde, werden in den nächsten Wochen und Monaten zwei weitere Anlagen folgen. Wir freuen uns auf eine erfolgreiche Zusammenarbeit.

Jedes Jahr fördert scia Systems bis zu vier Vereine bzw. soziale oder gemeinnützige Projekte, die von Mitarbeitern vorgeschlagen werden. Auch in diesem Jahr war es für die Jury nicht einfach, sich zwischen den verschiedenen Projekten zu entscheiden. Neben Sport-Vereinen konnten sich auch zwei soziale Einrichtungen durchsetzen ...