Systeme zum Ionenstrahltrimmen

 

System zur Großserienproduktion für die Schichtdickenkorrektur auf Wafern bis 200 mm

  • Ionenstrahltrimmen
  • Ionenstrahlpolieren

 

Präzise Oberflächen­korrektur für gleich­mäßige Beschichtungen auf Wafern bis 300 mm

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  • Ionenstrahlpolieren

 

Polierfehlerkorrektur von hochpräzisen optischen Elementen bis Ø 1500 mm

  • Ionenstrahlpolieren
     

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