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Systeme zum Ionenstrahltrimmen
System zur Großserienproduktion für die Schichtdickenkorrektur auf Wafern bis 200 mm
Ionenstrahltrimmen
Ionenstrahlpolieren
scia Trim 200
Präzise Oberflächenkorrektur für gleichmäßige Beschichtungen auf Wafern bis 300 mm
Ionenstrahltrimmen
Ionenstrahlpolieren
scia Trim 300
Polierfehlerkorrektur von hochpräzisen optischen Elementen bis Ø 1500 mm
Ionenstrahlpolieren
scia Finish 1500
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