Frequenztrimmen für akustische Volumenwellen-Filter (BAW)
Hochfrequenzfilter für die Mobilkommunikation verwenden zunehmend Volumenwellen-Filter (engl. Bulk Acoustic Wave, BAW) statt SAW (Surface Acoustic Wave) Filter für Frequenzen ab 2,4 GHz. Diese bieten nicht nur kostengünstigere Produktion, sondern auch kompaktere Größe und bessere Leistung.
BAW-Filter verwenden eine piezoelektrische Schicht aus z.B. Aluminiumnitrid. Die Schichtdicke muss der Hälfte der akustischen Longitudinalwelle entsprechen, um einen Resonator zu bilden. Es gibt verschiedene Methoden, um die akustische Trennung zwischen Resonator und Substrat herzustellen, wie z.B. FBAR (Thin Film Bulk Acoustic Resonator) und SMR (Solidly Mounted Resonator). Die Frequenz jedes Bauteils wird am Ende durch Trimmen einer zusätzlichen Passivierungsschicht, z.B. Siliziumnitrit, eingestellt, so dass diese mit ihrer Masse die Frequenz entsprechend verschiebt.
Die Anforderungen an die Homogenität der Schichten sind hoch. Durch Ionenstrahltrimmen kann die Schichthomogenität verbessert und die Bauteilausbeute von 10 % auf 90 % gesteigert werden.
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Ionenstrahltechnologie für dünne piezoelektrische Schichten
Piezoelektrische Beschichtungen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, unter anderem als Umwandler in z. B. Mikrofonen und Resonatoren. Die so beschichteten Resonatoren werden vor allem als Frequenzfilter in der moderne Mobilkommunikation verwendet und erfordern eine ausgezeichnete Qualität der piezoelektrischen Beschichtung. Karl Gündel, Technical Sales Manager bei scia Systems, beschreibt in seinem Vortrag die Vorteile von Ionenstrahltechnologie bei der Herstellung von piezoelektrischen Schichten.
Passendes Produkt - scia Trim 200
- Trimmen von Schichtdicke, Masselast und akustischen Spiegelschichten für eine höhere Ausbeute
- Erhöhung der Ausbeute auf 90 %
- Produktionsanlage für hohen Durchsatz
- Ausgestattet mit einem Handling-System für Standard-Waferkassetten
