Über scia Systems

Das Unternehmen wurde 2013 in Partnerschaft mit der VON ARDENNE GmbH gegründet und hat seinen Sitz in Chemnitz. Als Anbieter von Anlagen zur präzisen Oberflächenbearbeitung, basierend auf komplexen Plasma- und Ionenstrahltechnologien, konnte sich scia Systems bereits nach kurzer Zeit am weltweiten Markt etablieren. Unsere Kunden sind Unternehmen und Forschungseinrichtungen vor allem aus den Bereichen Mikroelektronik, MEMS und Präzisionsoptikfertigung.

scia Systems steht für zuverlässiges Equipment und hohe Standards. Um dies zu gewährleisten, arbeiten wir gemeinsam mit unseren Kunden an der stetigen Optimierung der Systeme für aktuelle und zukünftige Anforderungen in der Produktion. Für eine optimale und individuelle Kundenbetreuung hat scia Systems ein weltweites Netzwerk von lokalen Vertriebs- und Servicepartnern aufgebaut.

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Leistungsspektrum

Anlagendesign
Neukonstruktion oder Anpassung von Standardsystemen in Konstruktion und/oder Prozess

Fertigung
Eigene Herstellung von Kernkomponenten und Verwendung von hochwertigen Standardkomponenten

Software-Entwicklung
Intuitiv bedienbare Benutzeroberfläche und weltweiter Support per Remotezugriff

Forschung & Entwicklung
Eigene Abteilung für Prozessoptimierung und -unterstützung

Service & Support
Schulungen, Wartung, Ersatzteile und Nachrüstungen

Neuer Vortrag: Reaktives Ionenstrahlätzen von Lithiumniobat für PIC

In ihrem Vortrag auf dem Photonics Spectra Integrated Photonics Summit 2026, erläutert Susanne Hartmann die typischen Herausforderungen beim Ionenstrahlätzen und erklärt, wie das reaktive Ionenstrahlätzen (RIBE) Seitenwandeffekte wie Footing, Fencing und Trenching bei der Bearbeitung von Dünnschicht-Lithiumniobat-Wellenleitern behebt und dadurch geringere optische Verluste in photonischen integrierten Schaltkreisen ermöglicht.

 

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Reaktives Ionenstrahlätzen von Lithiumniobat für PIC

Mitgliedschaften

Mitgliedschaften in branchenspezifischen Netzwerken erzeugen Synergieeffekte durch den Austausch und Aufbau von Know-how in Form von Vorträgen oder fachrelevanten Diskussionen. scia Systems engagiert sich dazu in folgenden Vereinen:

EFDS

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V.

SEMI

Industry Association for Semiconductor Equipment and Materials International

SEMI FOA

Fab Owners Alliance

SAWLab Saxony

Wissenschaftliches Netzwerk für Akustoelektronik

SPIE

International society for optics and photonics.
 

Inplas

Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik e.V.

Zertifiziert

Wir sind zertifiziert nach EN ISO 9001:2015