Über scia Systems

Das Unternehmen wurde 2013 in Partnerschaft mit der VON ARDENNE GmbH gegründet und hat seinen Sitz in Chemnitz. Als Anbieter von Anlagen zur präzisen Oberflächenbearbeitung, basierend auf komplexen Plasma- und Ionenstrahltechnologien, konnte sich scia Systems bereits nach kurzer Zeit am weltweiten Markt etablieren. Unsere Kunden sind Unternehmen und Forschungseinrichtungen vor allem aus den Bereichen Mikroelektronik, MEMS und Präzisionsoptikfertigung.

scia Systems steht für zuverlässiges Equipment und hohe Standards. Um dies zu gewährleisten, arbeiten wir gemeinsam mit unseren Kunden an der stetigen Optimierung der Systeme für aktuelle und zukünftige Anforderungen in der Produktion. Für eine optimale und individuelle Kundenbetreuung hat scia Systems ein weltweites Netzwerk von lokalen Vertriebs- und Servicepartnern aufgebaut.

Geschäftsführung (v.l.n.r.): Robert Rückriem, Dr. Michael Zeuner und Dr. Michael Gempe

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Leistungsspektrum

Anlagendesign
Neukonstruktion oder Anpassung von Standardsystemen in Konstruktion und/oder Prozess

Fertigung
Eigene Herstellung von Kernkomponenten und Verwendung von hochwertigen Standardkomponenten

Software-Entwicklung
Intuitiv bedienbare Benutzeroberfläche und weltweiter Support per Remotezugriff

Forschung & Entwicklung
Eigene Abteilung für Prozessoptimierung und -unterstützung

Service & Support
Schulungen, Wartung, Ersatzteile und Nachrüstungen

News

Mit Wirkung zum 1. Januar 2026 vervollständigte Robert Rückriem die Geschäftsführung von scia Systems. Gemeinsam mit Dr. Michael Zeuner und Dr. Michael Gempe wird er das Unternehmen künftig leiten.

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Augmented Reality (AR) und Mixed Reality (MR) haben sich innerhalb kürzester Zeit von einem futuristischen Konzept zu einer praktischen Technologie entwickelt und damit die Möglichkeiten zahlreicher Branchen verändert. Für die Entwicklung leichter Near-Eye-Displays werden Oberflächenreliefgitter (SRG) eingesetzt, um das Licht von der Quelle in den Wellenleiter einzukoppeln und es anschließend zum Auge hin zu leiten. Ionenstrahltrimming eignet sich als flexibler Ansatz zur Herstellung von SRGs mit unterschiedlichen Grabentiefen.

Diese Studie zeigt, wie reaktives Ionenstrahltrimmen genutzt werden kann, um schräge Gitter mit unterschiedlichen Geometrien hinsichtlich Breite und Abstand herzustellen, die den spezifischen Anforderungen der Nanoimprint-Lithografie entsprechen.

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Mitgliedschaften

Mitgliedschaften in branchenspezifischen Netzwerken erzeugen Synergieeffekte durch den Austausch und Aufbau von Know-how in Form von Vorträgen oder fachrelevanten Diskussionen. scia Systems engagiert sich dazu in folgenden Vereinen: