Ionenstrahltrimmen der Magnetpole von Dünnschichtköpfen

Die Herstellung von Festplatten-Schreib-/Leseköpfen erfordert einen komplexen Fertigungsprozess mit hunderten Schritten. Präzision ist entscheidend, um viele Schreib-/Leseköpfe mit identischen Eigen­schaften herzustellen. Die exakte Polbreite beeinflusst das magnetische Schreibfeld der Festplatte, was bei zu großer oder zu geringer Breite zu Datenverlust führen kann. Eine gleichmäßige Schichtdicke ist ebenso unerlässlich, da der Schreib-/Lesekopf mit hoher Geschwindigkeit über die Speicherschicht gleitet und Ungleichmäßigkeiten Luftwirbel verursachen können, die die Oberfläche beschädigen und die Leistung beeinträchtigen.

Aktuelle Produktionsanlagen erreichen ihre Grenzen, erfordern daher oft eine Nachbearbeitung. Die übliche Methode, das chemisch-mechanische Polieren (CMP), kann jedoch zum Auf­rauen der Ober­fläche und zu einer Stufenstruktur im Polier­stopp führen, was die Weiterverarbeitung und Ausbeute negativ beeinflusst (siehe Abb. 1, links).

Lokales Ionenstrahlätzen ermöglicht die präzise Einstellung der Schichtdicke, Festlegung der lateralen Aus­dehnung des Schreib­pols und eine Oberflächenglättung für verbesserte Leistung (siehe Abb. 1, rechts).

...

Passendes Produkt - scia Trim 200

• Dickeneinstellung, Einstellung der Polbreite
• Verbesserung der Schichtdickenhomogenität
• Erhöhung der Ausbeute
• Produktionsanlage für hohen Durchsatz
• Ausgestattet mit einem Handling-System für Standard-Waferkassetten