Polierfehlerkorrektur für Linsen und Spiegel

Substratgröße (bis zu)

Ø 1500 mm, 400 kg

Achsenleistung

Max. Geschwindigkeit 0,15 m/s, max. Beschleunigung 15 m/s²

Ionenstrahlquelle

37 mm zirkulare HF-Quelle (RF37-i) mit 8 ... 15 mm (FWHM) oder
120 mm zirkulare HF-Quelle (RF120-i) mit 16 ... 36 mm (FWHM),
optionale zweite Ionenstrahlquelle

Neutralisator

HF-Plasma-Brücken-Neutralisator (N-RF)

Basisdruck

< 1 x 10^-6 mbar

Systemabmessungen
(L x B x H)

3,60 m x 7,70 m x 3,40 m
(ohne Schaltschrank und Pumpen)

Konfiguration

Einzelkammer mit Schiebetüren, manuelle Beladung mit Transportwagen, 3- oder 4-Achsenkontrollsystem für die Ionenstrahlbewegung

Softwareschnittstellen

SECS II / GEM, OPC

Typische Abtragraten

SiO₂: 14 mm³/h (RF37-i), 96 mm³/h (RF120-i)

Schichtabweichung nach dem Polieren

< 0,5 nm RMS (abhängig von Inputqualität)