Duale Ionenstrahlbeschichtung von Nanoverschleißschutzschichten für Mikrozerspanungswerkzeuge
In einer Vielzahl von Industriezweigen, wie beispielsweise der Medizintechnik, dem Automobilbau, der Luft- und Raumfahrt, dem Werkzeug- und Formenbau sowie der Mikroelektronik, ist die Miniaturisierung von Bauteilen ein ungebrochener Trend. Ein hoher Kostenfaktor bei der Produktion dieser Bauteile ist dabei die durch den Verschleiß begrenzte Lebensdauer der Werkzeuge. Mit gängigen Beschichtungsverfahren wie CVD (Chemical Vapour Deposition - chemische Gasphasenabscheidung) und PVD (Physical Vapour Deposition - physikalische Gasphasenabscheidung) kann die Lebensdauer nachweislich verlängert werden. Allerdings werden bei diesen Beschichtungsverfahren Schichtdicken im µm-Bereich erzeugt, die Schneidkantenverrundungen hervorrufen, welche bei Bohrdurchmessern im Sub-mm-Bereich zu erheblichen Qualitätsmängeln führen.
Neue Beschichtungslösungen sind erforderlich, um Schichten herzustellen, die folgende Anforderungen erfüllen
- sehr geringe Schichtdicke um die Schneidkanten nicht zu verrunden
- homogene Schichtdicken besonders entlang der Schneiden
- hohe Schichtdickenhomogenität über eine große Anzahl an Werkzeugen
- harte Schichten für geringen Verschleiß
- gute Haftung an den Werkzeugen, denn vorzeitiges Abplatzen der Schichten würde die Lebenszeit der Werkzeuge verglichen mit einem gleichmäßigen, verschleißbedingten Abtrag deutlich verkürzen
- Hitzebeständigkeit, da hohe Schnittgeschwindigkeiten zu einer deutlichen Erwärmung des Werkzeugmaterials führen
- Preisgünstig, um die Beschichtungen so wirtschaftlich wie möglich zu gestalten
Im Rahmen des Verbundprojektes „NanoTools“ konnte anhand von Untersuchungen von Al2O3-Beschichtungen an handelsüblichen Bohrern mit 3 mm und 0,3 mm Durchmesser gezeigt werden, dass sowohl Atomlagenabscheidung (Atomic Layer Deposition, ALD) als auch Duales Ionenstrahlsputtern (Dual Ion Beam Deposition, DIBD) in der Lage sind, dünne Schichten zu erzeugen, die zu einer bis zu 6-fachen Standzeiterhöhung führen. (siehe dazu auch News vom 2017-06-02)
Passende Produkte: scia Coat 200
- In-situ-Wechsel der Beschichtungsmaterialien durch drehbaren Targethalter mit bis zu 5 wassergekühlten Targets
- Kontrollierte Multilagenabscheidung auf Basis von Prozessrezepten
- Prozessüberwachung mit Schwingquarz und/oder optischem Schichtdickenmonitor (OTM) und Testglaswechsler
- Direktes Wafer-Handling oder Anpassung an variable Substratgrößen mit Carrier-Handling
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