Ionenstrahlätzen zur Herstellung von ultradünnem LT für IR-Sensoren

Sensoren zur hochsensitiven Detektion von Infrarotstrahlung (IR) haben ein weites Anwendungsfeld, z. B. als Detektoren in der IR-Spektroskopie oder in der berührungslosen Temperaturmessung. Ein verbreitetes Material für diese IR-Sensoren ist das pyroelektrische Lithiumtantalat (LT).

Um eine optimale Sensorleistung zu erreichen, ist es nötig, die thermische Trägheit und damit die Schichtdicke des Lithiumtantalats zu verringern. Der gewachsene Einkristall wird zunächst auf eine Dicke von etwa 300 µm geschnitten. Danach kann die Dicke mittels chemisch-mechanischen Polierens (CMP) weiter auf etwa 25 µm reduziert werden. Ab diesem Punkt erhöht sich die Bruchwahrscheinlichkeit des Materials drastisch und eine weitere Reduzierung der Schichtdicke ist mit Polieren nicht möglich. Um die Dicke des Lithiumtantalats dennoch weiter zu reduzieren und somit die Detektivität D* zu steigern, eignet sich am besten das Ionenstrahlätzen mit Argon-Ionen (Ar⁺).

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Passende Produkte: scia Mill 150 & scia Mill 200 & scia Mill 300

• Vollflächiges Ionenstrahlätzen mit hervorragender Homogenität
• Herstellung von Lithiumtantalat mit einer Dicke von wenigen µm
• Hohe Prozessstabilität über mehrere zehn Stunden zur Abtragung von Lithiumtantalat
• Heliumrückseitenkühlung zur Nutzung von Fotolack
• Reaktivgaskompatibilität für RIBE- und CAIBE-Prozesse
• Ionenstrahlquelle mit hoher Stabilität und einstellbarer Ionenenergie sowie -stromdichte
• Vollständige Softwareintegration und automatisierte Prozessführung via Rezeptsteuerung