Die All-in-One-Cluster-Lösung

Der scia Cluster 200 ist eine modulare Plattform für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, die auf modernsten Ionenstrahl- und Plasmatechnologien basiert. Cluster-Systeme gibt es in zwei unterschiedlichen Ausführungen: Entweder beinhalten sie mehrere identische Prozesskammern, die für eine erhebliche Durchsatzsteigerung kombiniert werden können, oder es werden verschiedene Prozesstechnologien kombiniert, um aufeinanderfolgende Prozessschritte auf einem einzigen Wafer ohne Unterbrechung des Vakuums zu realisieren.

Der scia Cluster 200 kann individuell entsprechend der Anwendung des Kunden konfiguriert werden, wobei bis zu fünf Prozesskammern und eine oder zwei Ladeschleusen an der zentralen Transferkammer installiert werden können.

Vorteile eines Cluster-Systems

Modulare Plattform mit mehreren Prozessen in einem System oder mehreren identischen Prozesskammern

Höchste Flexibilität dank einer umfangreichen Technologieportfolios für maßgeschneiderte Lösungen

Skalierbare Plattform mit individueller Kammeranzahl für erhöhten Durchsatz und effiziente Produktion

Geringere Kontamination und kürzere Durchlaufzeit durch kontinuierliche Prozesskette ohne Unterbrechung des Vakuums

Geringere Betriebskosten durch kleineren Platzbedarf und verringerten Energieverbrauch

Bedienfreundliche Software für rezeptbasierte, kammerübergreifende Prozesse steigert Effizienz und Flexibilität.

Sie haben die Wahl!

Multi-Prozess-Cluster

Mehrere Prozesskammern mit unterschiedlichen Prozessen
Kostengünstige und skalierbare Produktion mit hoher Konstanz und verbesserter Effizienz
Mehrere Prozessschritte können nacheinander oder parallel ausgeführt werden
Weniger Verunreinigungen durch die Substratbewegung im Vakuum
Geringere Prozesszeit und höhere Ausbeute

scia Cluster 200 – die All-in-One-Lösung für Multiprozess-Cluster

Single-Prozess-Cluster

Alle Prozesskammern führen den gleichen Prozess durch.
Hohe Zuverlässigkeit und Serienfertigung für Prozesse mit kritischer Betriebszeit und hoher Durchsatzleistung.
Erhöhter Durchsatz durch gleichzeitige Prozessierung in mehreren Kammern.
Prozesskonsistenz hinsichtlich Qualität und Gleichmäßigkeit.