PECVD/RIE Systeme

Großflächiges Beschichten und Ätzen

scia Cube 300

 

Plasmaprozesse auf Substraten über 300 mm x 200 mm

  • Plasma-unterstützte CVD (PECVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)

scia Cube 300

 

scia Cube 750

 

Großflächige Plasmaprozesse auf 750 mm x 750 mm

  • Plasma-unterstützte CVD (PECVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)

scia Cube 750

 

3D-Beschichtung

scia Batch 350

 

Biokompatible Beschichtung auf 3-dimensionalen Substraten

  • Plasma-unterstützte CVD (PECVD)

scia Batch 350

 

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