Substratgröße | 2 Carrier mit individuellen Substratgrößen beladen, Carrier-Größe bis zu 350 mm x 240 mm |
Substrat-Carrier | Wassergekühlt, gepulste DC-Vorspannung (2 kV, 400 mA) |
Plasmaquelle | HF-Parallelplattenanordnung, 13,56 MHz |
Leistungsversorgung | HF-Leistung max. 2 x 600 W |
Elektrodenkonfiguration | Temperatur: Aufheizung bis zu 400 °C; Abstand: Justierbar zwischen 50 mm und 150 mm |
| Betriebsmodi | Unabhängige oder gekoppelte Elektroden |
Basisdruck | < 5 x 10-7 mbar |
Systemabmessungen | 0,90 m x 1,70 m x 2,10 m (ohne Schaltschrank und Pumpen) |
Konfiguration | Einzelkammer mit manueller Beladung in Chargen |
Softwareschnittstellen | SECS II / GEM, OPC |
