Know-how bei der Bearbeitung von High-Tech Optiken durch modernste Ionenstrahl- und Plasmatechnologien
Beschichten
- Multilagenbeschichtungen für EUV-Anwendungen
- Hochreflektierende und Antireflexbeschichtungen für Spiegel und optische Filter
- Gradienten-Multilagenbeschichtung von Spiegeln für EUV, Lithografie und Antireflexbeschichtungen
- Abscheidung von Schichten mit Eigenschaftsgradienten (z.B. Göbel-Spiegel) oder Brechungsindexgradienten
Ätzen
- Nanostrukturierung und von Gittern und anderen Strukturen in optischen Materialien
- Herstellung von 3-dimensionalen optoelektronischen Mikrostrukturen
- Finale Oberflächenformfehlerkorrektur für Teleskopspiegel, Röntgenoptiken, Linsen und konventionelle Optiken
- Ionenstrahlglättung zur Reduzierung der Mikrorauhigkeit
Reinigen
- Reinigung von Röntgenoptiken mit ultrahoher Reinheit
- Entfernung von kleinsten Verunreinigungen bei EUVL-Komponenten
Optik Application-Notes
Ätzen von optischen Gittern für Augmented & Mixed-Reality-Geräte
Dielektrische Beschichtung von großen Substraten
Hochreflektierende und Antireflexbeschichtung mit Ta2O5 und SiO2
Formfehlerkorrektur von Röntgenspiegeln
Abscheidung von DLC für Glas-Pressformen
Video-Präsentationen
Hochentwickeltes Patterning für optische Beugungsgitter
Ionenstrahlpolieren von Teleskopspiegeln unterschiedlicher Größe
Bearbeitung von optischen Gittern mit variierenden Neigungswinkeln
Ätzen von optischen Gittern für Wellenleiter in AR- und MR-Produkten
Strukturierung von Optiken mittels Ionenstrahlätzen
