Know-how bei der Bearbeitung von High-Tech Optiken durch modernste Ionenstrahl- und Plasmatechnologien
Beschichten
- Multilagenbeschichtungen für EUV-Anwendungen
- Hochreflektierende und Antireflexbeschichtungen für Spiegel und optische Filter
- Gradienten-Multilagenbeschichtung von Spiegeln für EUV, Lithografie und Antireflexbeschichtungen
- Abscheidung von Schichten mit Eigenschaftsgradienten (z.B. Göbel-Spiegel) oder Brechungsindexgradienten
Ätzen
- Nanostrukturierung von Gittern und anderen Strukturen in optischen Materialien
- Herstellung von 3-dimensionalen optoelektronischen Mikrostrukturen
- Finale Oberflächenformfehlerkorrektur für Teleskopspiegel, Röntgenoptiken, Linsen und konventionelle Optiken
- Ionenstrahlglättung zur Reduzierung der Mikrorauhigkeit
Reinigen
- Reinigung von Röntgenoptiken mit ultrahoher Reinheit
- Entfernung von kleinsten Verunreinigungen bei EUVL-Komponenten
Optik Application-Notes
Strukturierung von Lithiumniobat durch Ionenstrahlätzen
Ionenstrahltrimmen für Photonic Integrated Circuit Wafer
Ätzen von optischen Gittern für Augmented & Mixed-Reality-Geräte
Dielektrische Beschichtung von großen Substraten
Hochreflektierende und Antireflexbeschichtung mit Ta2O5 und SiO2
Formfehlerkorrektur von Röntgenspiegeln
Abscheidung von DLC für Glas-Pressformen
Video-Präsentationen
Hochentwickeltes Patterning für optische Beugungsgitter
Ionenstrahlpolieren von Teleskopspiegeln unterschiedlicher Größe
Bearbeitung von optischen Gittern mit variierenden Neigungswinkeln
Ätzen von optischen Gittern für Wellenleiter in AR- und MR-Produkten
Strukturierung von Optiken mittels Ionenstrahlätzen
Ionenstrahl- und Plasmaverfahren zur Bearbeitung von Präzisionsoptik
Wir entwickeln und fertigen Anlagen zum Beschichten, Ätzen, Trimmen und Reinigen für anspruchsvolle optische und photonische Anwendungen.
Die vorgestellten Lösungen ermöglichen:
- Hochreflektierende und antiflektierende optische Beschichtungen
- Korrektur von Formfehlern bei Röntgen- und Teleskopspiegeln
- Strukturierung von Mikrooptiken und Oberflächenreliefgittern für Augmented-Reality-Brillen (AR)
- Produktionsprozesse für photonische integrierte Schaltungen (PIC) und EUVL-Optiken
scia Systems GmbH
Clemens-Winkler-Str. 6c
09116 Chemnitz
Tel: +49 371 33561-0