Abscheidung von diamantartigen Kohlenstoffschichten (DLC)
Elementarer Kohlenstoff kann aufgrund verschiedener Hybridisierungsmöglichkeiten in verschiedenen Kristallgittern oder ungeordneten Strukturen auskristallisieren. Die bekanntesten Strukturen sind Diamant mit sp³-Hybridisierung (tetragonale Struktur) und Graphit mit sp²-Hybridisierung (hexagonale Ebenen).
Um die besonderen Eigenschaften der sp³-Hybridisierung zu nutzen, bei gleichzeitig geringeren Produktionskosten, empfiehlt sich die Synthese von diamantartigem Kohlenstoff (engl. Diamond Like Carbon, DLC). Dieser ist eine amorphe Form von Kohlenstoff mit einem signifikanten Anteil an sp³-Hybridisierungen und daraus resultierenden diamantähnlichen Eigenschaften.
Die Härte des Materials ist dabei für die Herstellung von Schutzschichten auf Werkzeugen, Festplatten, MEMS und Optiken (z.B. EUV) besonders interessant. Zudem wird DLC zur Beschichtung von Pressformen für das Präzisionspressen von Glas genutzt, welches wiederum bei der Herstellung von Infrarot-Kameralinsen und medizinischen Systemen verwendet wird.
Die scia Cube 300 scheidet diamantartige Kohlenstoffschichten mittels PECVD ab.
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Passendes Produkt - scia Cube 300
- PECVD ermöglicht die Abscheidung von DLC-Schichten mit einer Homogenitätsabweichung von unter 1,5 %
- Durch die Änderung der Prozessparameter können die DLC-Eigenschaften präzise beeinflusst werden