Ionenstrahltechnologie als Wegbereiter für eine sich ständig weiterentwickelnde Sensorwelt

Von der Automobilelektronik über Industrieanlagen und Medizintechnik bis hin zur Datenspeicherung: Hochleistungssensoren bilden den Kern moderner Spitzentechnologien. Diese Sensoren bestehen oft aus komplexen Schichtsystemen mit einer Dicke von wenigen hundert Mikrometern bis hin zu wenigen Nanometern.

Zum Einsatz kommen daher viele verschiedene Materialien mit sehr unterschiedlichen Eigenschaften, wie zum Beispiel:

• Optische Schichten (Si, SiO2, Si3N4, VOx, LN, LT, BTO, TiO2) 
• Magnetische Schichten (CoFe, CoPt, NiFe)
• Metalle (Pt, Au, NiCr, Ta, Ru, Ir)
• Piezoelektrische Materialien (AlN, AlScN, PZT, ZrO2)
• Sonstige (ITO, ZnO, TiN,)

Da Sensoren immer kleiner, kompakter und zunehmend integriert sind, stoßen traditionelle Fertigungsmethoden aufgrund mangelnder Präzision, Kontaminationsrisiken und Problemen bei der Materialkompatibilität an ihre Grenzen. Um diese Herausforderungen zu bewältigen, setzen die Industrien zunehmend auf Ionenstrahl- und Plasmaverfahrenstechnologien.

Über das Webinar

In diesem On-Demand-Webinar erläutert Marcel Demmler, Verkaufsleiter bei scia Systems, die Prinzipien und Vorteile des Ionenstrahlätzens, der Ionenstrahlabscheidung und der Plasmabearbeitung und wie diese Technologien die zuverlässige Herstellung von Sensoren der nächsten Generation ermöglichen.

Schwerpunkte der Präsentation:

• Herstellung von TMR-Sensoren durch Ionenstrahlätzen
• Herstellung von Infrarot-Sensoren (IR) durch Ionenstrahlätzen
• Herstellung von piezoelektrischen Sensoren durch Ionenstrahlätzen
• Herstellung von Biosensoren durch Magnetronsputtern
• Herstellung von magnetischen Festplattenschreib-/leseköpfe (engl. Thin Film Heads) durch Ionenstrahltrimmen
• Herstellung von photonischen integrierten Schaltkreisen (PICs) durch Ionenstrahltrimmen
• Herstellung von Mikrobolometern durch Ionenstrahlsputtern

Wesentliche Vorteile der Ionenstrahltechnologie zur Herstellung von Sensoren:

• Präzise Strukturierung komplexer mehrschichtiger Materialien.
• Reduziertes Kontaminationsrisiko im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren.
• Unterstützung der Integration von Multisensorelementen in kompakten Geräten.
• Reproduzierbare Abscheidung dünner Schichten für hochwertige Bio- und optische Sensoren.