Videovortrag: Ionenstrahltechnologie für dünne piezoelektrische Schichten

Piezoelektrische Beschichtungen werden in einer Vielzahl von Anwendungen eingesetzt, unter anderem als Umwandler in z. B. Mikrofonen, Motoren und Resonatoren. Die so beschichteten Resonatoren werden vor allem als Frequenzfilter in der moderne Mobilkommunikation verwendet und erfordern eine ausgezeichnete Qualität der piezoelektrischen Beschichtung.  Karl Gündel, Technical Sales Manager bei scia Systems, geht in seinem Vortrag auf die Vorteile von Ionenstrahltechnologie bei der Herstellung von piezoelektrischen Schichten ein.

Zunächst wird er in seiner Präsentation das Ionenstrahlätzen (Ion Beam Milling) zur Strukturierung von piezoelektrischen Materialien vorstellen. IBM bedeutet, dass das Substrat einem physikalischen Beschuss mit Ionen ausgesetzt wird. Dieser Ionenstrahl kann dabei den kompletten Schichtstapel aus verschiedenen Materialien durchätzen, ohne dass der Prozessaufbau verändert werden muss.

Die nächste Technologie ist das Ionenstrahltrimmen (Ion Beam Trimming), welches für eine gleichmäßige Schichtdicke auf dem Wafer sorgt. Karl Gündel wird dazu ein Anwendungsbeispiel zeigen, bei dem sich die Standardabweichung mit einem Verbesserungsfaktor von fast 13 verändert hat.

Die dritte Technologie zur Herstellung piezoelektrischer Schichten ist das Ionenstrahlsputtern (Ion Beam Sputtering), bei dem sehr dichte, defektfreie Schichten entstehen.

Für alle Technologien wird Karl Gündel die passenden Vakuumprozessanlagen und deren Eigenschaften und Vorteile vorstellen.

Das Video mit der englischen Präsentation finden Sie hier: