Videovortrag: Ionenstrahltrimmen von piezoelektrischen Materialien
Das Ionenstrahltrimmen ist eine spezielle Variante des Ionenstrahlätzens, bei dem ein fokussierter Ionenstrahl über den Wafer scannt. Der genaue Materialabtrag wird dabei durch die Einstellung der Verweilzeit gesteuert.
Im folgenden Video zeigt unser Verkaufsleiter Marcel Demmler den Ionenstrahl-Bearbeitungsprozess und stellt unsere Prozesslösung scia Trim 200 vor, mit der sich die Fertigungsausbeute von piezoelektrischen Bauteilen deutlich verbessern lässt. Abschließend zeigt er Ihnen zwei Anwendungsbeispiele inklusive der dazu gehörenden Prozessergebnisse.
Das Video mit der Präsentation auf Englisch finden Sie hier:
Technologie
Erfahren Sie mehr über den Prozess des Ionenstrahltrimmens & Ionenstrahlpolierens, einer Form des Trimmens für optische Substrate.
Anwendung
In unserer Application Note zeigen wir Ihnen, wie Ionenstrahltrimmen die Oberflächenhomogenität von POI-Wafern für HF-Filter drastisch verbessert.
Produkt
Die scia Trim 200 ist ein Hochleistungs-Produktionssystem für die präzise Oberflächenkorrektur von Wafern bis zu 200 mm.
scia Systems GmbH
Clemens-Winkler-Str. 6c
09116 Chemnitz
Tel: +49 371 33561-0
✉ sales@scia-systems.com
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