Multilagenbeschichtung für optische Substrate

Die scia Magna-Serie umfasst hochentwickelte Magnetron-Sputteranlagen, die für hochpräzise Multilayer-Beschichtungen auf optischen Substraten entwickelt wurden und eine Präzision im (Sub-)Nanometerbereich erreichen. Jedes System kann mit bis zu sechs Magnetrons ausgestattet werden und ermöglicht die Abscheidung komplexer mehrlagiger Stapel aus verschiedenen Zielmaterialien - ohne dass das Vakuum unterbrochen werden muss. Die Systeme unterstützen die Abscheidung von Metall-, Oxid- und Nitridschichten bei gleicher Effizienz.

Ausgestattet mit automatisiertem Substrathandling ermöglichen die Modelle scia Magna 400 Inline, scia Magna 500 Inline, scia Magna 700 Inline und scia Magna 1200Inline einen vollautomatischen, rezeptgesteuerten Prozess. Die präzise, positionsgesteuerte Substratbewegung ermöglicht definierte Gradientenschichten und eine hervorragende Abscheidungsgleichmäßigkeit.