scia Systems erhält einen Auftrag für ein kombiniertes Ionenstrahl-Sputter- und Ätzsystem vom NIST

scia Coat 200 bietet eine hervorragende Homogenität für Beschichtungs- und Ätzprozesse mittels Ionenstrahlsputtern (IBS) und Ionenstrahlätzen (IBE).

Chemnitz, 6. März 2024 — Die scia Systems GmbH, der Branchenführer im Bereich fortschrittlicher Ionenstrahl- und Plasmaprozessausrüstung für die Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie, gab heute bekannt, dass das National Institute of Standards and Technology (NIST), eines der ältesten und etabliertesten Institute für physikalische Wissenschaften in den USA, ein scia Coat 200 System gekauft hat.

Der Kunde wird die Anlage von scia Systems in der Boulder Microfabrication Facility (BMF) installieren, einem Fertigungszentrum für Mikroelektronik der Reinraumklasse 100. Das hochmoderne Forschungszentrum unterstützt das NIST bei der Herstellung von mikroelektronischen und mikroelektromechanischen (MEMS) Bauteilen der nächsten Generation. Die scia Coat 200 wird hierbei zur Abscheidung von Metallen und dielektrischen Materialien sowie zur Strukturierung von Sensoren und anderen Geräten eingesetzt.

scia Coat 200 - Multilagenbeschichtung mit höchster Qualität

Die scia Coat 200 setzt Ionenstrahlsputtern (engl. Ion Beam Sputtering, IBS) ein, um eine glatte, fehlerfreie Dünnschichtabscheidung zu erreichen. Die IBS-Technologie garantiert eine hervorragende Homogenität bei jeder Beschichtung, indem das bis zu 200 mm große Substrat nach Bedarf gedreht und geneigt werden kann. Eine zusätzliche Ionenstrahlquelle im System ermöglicht zudem ein homogenes vollflächiges Ionenstrahlätzen. Die integrierte In-situ-Prozesskontrollanalyse gewährleistet eine hervorragende Prozessstabilität. Neben der Beschichtung und dem Ionenstrahlätzen von Wafersubstraten können mit der scia Coat 200 auch beliebig geformte Werkstücken bearbeitet werden.

Ein weiterer Meilenstein für scia Systems

Weltweit wurden bereits mehr als 500 Anlagen basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien von scia Systems an industrielle Fertigungs- und Forschungsinstitute ausgeliefert. Trotzdem stellt dieser Auftrag einen bedeutenden Meilenstein für scia Systems und seinen lokalen Vertriebspartner AARD Technology, LLC dar, da es sich um das erste Ionenstrahlsystem handelt, welches am NIST zum Einsatz kommen wird. „Wir freuen uns sehr über das Vertrauen des NIST in unsere Produkte und Technologien, mit deren Hilfe das BMF neueste Mikroelektronik und MEMS-Bauteile zukünftig schneller an den Markt bringen wird“, erklärte Dr. Michael Zeuner, Geschäftsführer von scia Systems.

• Weitere Informationen über das System und Anwendungsmöglichkeiten finden Sie hier: scia Coat 200.
   
• Erfahren Sie mehr über die Technologie des (dualen) Ionenstrahlsputterns.
   
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Über scia Systems GmbH

scia Systems wurde 2013 gegründet und hat sich seitdem als Technologieführer im Bereich der Dünnschicht-Prozessausrüstung basierend auf fortschrittlichen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien etabliert. Die Systeme werden für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung eingesetzt und wurden weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen erfolgreich eingesetzt, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.

Kontakt

scia Systems GmbH
Mandy Gebhardt 
Leitung Marketing
Tel.: +49 371 33561 322
E-Mail: m.gebhardt@scia-systems.com