Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Plasma- und Ionenstrahl-Prozesssysteme zur nano­meter­genauen Bearbeitung von Oberflächen. Für das breite Spektrum an Beschichtungs- und Ätzverfahren bietet das Unternehmen neben Standardanlagen auch Systeme mit speziell auf Kundenwünsche angepassten Prozessabläufen. Zudem ist scia Systems ein kompetenter und zuverlässiger Serviceanbieter mit einem Leistungsportfolio vom klassischen Support bis hin zum dem Nachrüsten von vorhandenen Anlagensystemen.

News

scia Mill 200 für Fraunhofer IMS

scia Systems erhielt den Zuschlag bei einer Ausschreibung über eine Ionenstrahlätzanlage für das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS.

Wir freuen uns, dem Fraunhofer IMS eine scia Mill 200 zu liefern. Die Ionenstrahlätzanlage mit Endpunktdetektionsystem wird im Rahmen der vom BMBF unterstützten Initiative „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ in das Mikrosystemtechniklabor des Institutes integriert. Sie soll vorrangig der Prozessentwicklung und Herstellung von MEMS dienen, zum Beispiel für Infrarotdetektoren, Drucksensoren und biokompatible MEMS-Systeme. Dabei werden insbesondere Materialien strukturiert, die sich nicht klassisch mittels RIE ätzen lassen oder Geometrien mit hohen Aspektverhältnissen aufweisen.