Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozesse zur präzisen Oberflächen­­­­bearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

Produkte

Unsere Systeme sind flexibel und modular aufgebaut. Dadurch können wir sowohl Standardlayouts als auch individuelle Lösungen für unsere Kunden in aller Welt anbieten.

Karriere

Sie wollen in einem hochtechnologischen und wachstumsstarken Marktumfeld eine aktive Rolle spielen? Wir sind immer auf der Suche nach neuen Teammitgliedern.

 

 

Anwendungen

Unser Equipment wird hauptsächlich in den Branchen MEMS und Präzisionsoptikfertigung genutzt, findet jedoch auch Anwendung im Bereich der Automobil- & Biomedizintechnik.

Unternehmen

scia Systems steht für zuverlässiges Equipment und hohe Standards, um heutigen und zukünftigen Anforderungen gerecht zu werden. Unser Team unterstützt Sie gern dabei, das optimale System- und Prozessdesign zu finden.

Runxin MEMS Technologies erhöht Ausbeute der produzierten Filter durch Ionenstrahltrimmen

Im Herzen des Wissenschaftsparks für Mikroelektronik in der Nanchang Hightech-Zone wurde im März 2022 die Runxin MEMS Technologies Co. Ltd. gegründet, eine neue industrielle Plattform für die MEMS-Produktion. Das Unternehmen erweitert nun seine Kapazitäten und hat dazu eine scia Trim 200 bestellt. Mit Hilfe dieses Ionenstrahltrimmsystems soll vor allem die Produktion von BAW- und SAW-Filtern effizienter werden. Durch das Trimmen der Schichtdicken kann die Ausbeute an funktionalen Bauteilen auf bis zu 90% zu gesteigert werden.

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Runxin MEMS Logo

SPIE AR | VR | ME

2023-01-31 bis 2023-02-01
San Francisco, USA
Stand: 108 (Standplan)
Partner vor Ort: AARD Technology

Semicon Korea

2023-02-01 bis 2023-02-03
Seoul, Südkorea
Stand: A210 (Standplan)
Partner vor Ort: Woowon Technology

SPIE Advanced Lithography

2023-02-28 bis 2023-03-01
San Jose, USA
Stand: 533 (Standplan)
Partner vor Ort: AARD Technology

Kontakt

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