Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozesse zur präzisen Oberflächen­­­­bearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

Produkte

Unsere Systeme sind flexibel und modular auf­gebaut. Dadurch können wir Ihnen sowohl Standard- als auch Individual­lösungen anbieten.

Anwendungen

Unsere Anlagen werden vorrangig für die Her­stel­lung von MEMS & Präzisionsoptiken, aber auch in der Astronomie & Medizintechnik genutzt.

Unternehmen

Anspruchsvoll die neusten Technologien voran­treiben und sich dabei ständig weiterentwickeln - das macht scia Systems aus. 

Neue Application-Note: Ionenstrahltrimmen für Wafer mit Photonic Integrated Circuits (PIC)

Im Gegensatz zu elektronischen integrierten Schaltkreisen verwenden PICs Photonen (Lichtteilchen) für die Datenübertragung und -verarbeitung und ebnen damit den Weg für schnellere und effizientere Technologien. Die Massenproduktion von Hochleistungs-PICs bleibt jedoch eine Herausforderung. Ein Schlüsselfaktor? Die Homogenität des Materials.

Unsere neueste Application Note zeigt, wie das Ionenstrahltrimmen mit den hoch entwickelten Lösungen von scia Systems die Standardabweichung der Dicke von Siliziumnitridschichten um einen Faktor von ~16 reduzieren kann und so den Weg für eine skalierbare, präzise PIC-Fertigung ebnet.

Möchten Sie mehr erfahren? Lesen Sie die vollständige Application Note hier (kostenloser Download):

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PIC

SPIE OPTICS + PHOTONICS

SPIE Optics & Photonics

2025-08-05 bis 2025-08-07
San Diego, USA
Stand: 829 (Hallenplan)
Partner vor Ort: AARD Technology

ECOSS 38

[Translate to Deutsch:] ECOSS 38

2025-08-24 bis 2025-08-29
Braga, Portugal
Partner vor Ort: Photon Export
 

SEMICON Taiwan

Logo Semicon Taiwan

2025-09-10 bis 2025-09-12
Taipei, Taiwan
Stand: I2304 (Floorplan)
Partner vor Ort: WESi Technology

Kontakt

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