Kompetenz in Dünnschichttechnologie
scia Systems entwickelt Plasma- und Ionenstrahl-Prozesssysteme zur nanometergenauen Bearbeitung von Oberflächen. Für das breite Spektrum an Beschichtungs- und Ätzverfahren bietet das Unternehmen neben Standardanlagen auch Systeme mit speziell auf Kundenwünsche angepassten Prozessabläufen. Zudem ist scia Systems ein kompetenter und zuverlässiger Serviceanbieter mit einem Leistungsportfolio vom klassischen Support bis hin zum dem Nachrüsten von vorhandenen Anlagensystemen.
News
Teilnahme am Verbundprojekt - ALMET
Zusammen mit den Projektpartnern arbeitet scia Systems im Rahmen des von der Sächsischen Aufbaubank mit EFRE-Mitteln geförderten ALMET-Projektes an der Entwicklung von Anlagen und Prozessen für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten (mALD). Ziel des Projektes sind Prozesse zur Erzeugung von formtreuen Kupfer- und Kobaltdünnschichten in einem industriell nutzbaren ALD-Reaktor. Der Reaktor realisiert plasmagestützte ALD (PALD) in einem speziellen Kammer-in-Kammer-Design. scia Systems bringt seine Erfahrung und sein Know-how mit Engagement in das Projekt ein.