Reaktives Ionenätzen von großflächigen CGHs
Die hochpräzise Fertigung großer asphärischer Linsen ist zu einer zentralen Herausforderung für die zukünftige EUV-Lithografie geworden. Zur Qualitätskontrolle dieser Linsen werden computergenerierte Hologramme (engl. computer generated holograms, CGH) verwendet, die im Vergleich zu anderen optischen Prüfverfahren eine wesentlich höhere Genauigkeit und Präzision bieten.
CGH bestehen aus einem berechneten Interferenzmuster mit Merkmalen im Submikrometerbereich. Dieses Muster wird auf ein transparentes Substrat übertragen, indem es in eine Fotolackmaske (PR) geschrieben wird, die auf einer dünnen Chromschicht platziert ist.
Die Herstellung von computergenerierten Hologrammen (CGH) auf großen Flächen erfordert Trockenätzverfahren und Systeme, die für große Substratgrößen geeignet sind. In diesem Whitepaper demonstriert der Autor Robert Rückriem die CGH-Strukturierung mit einer Größe von 450 mm x 450 mm unter Verwendung des Trockenätzsystems scia Cube 750.
