Aktuelle Nachrichten

Die IEEE IFCS-ISAF 2020-Konferenz fand dieses Jahr virtuell statt. Obwohl wir nicht persönlich teilnehmen konnten, sind wir dennoch stolz darauf, diese Konferenz als Gold Patron zu unterstützen und ein Video unseres Verkaufsleiters Marcel Demmler beizusteuern.

scia Systems freut sich, den Gewinn einer Ausschreibung über ein Ionenstrahlätzsystem für das Department of Materials des Imperial College London - einer der zehn besten Universitäten weltweit - bekanntzugeben.

Die scia Mill 150 wird am neuen Universitätsstandort, dem White City Campus, im Sir Michael Uren Hub stehen. Das System wir Teil des Sir-Henry-Royce-Institutes, in dem renommierte Wissenschaftler eng mit der Industrie zusammenarbeiten, um die Kommerzialisierung von fundamentaler Materialforschung voranzutreiben. Das Institut fokussiert sich auf die „Atoms 2 Devices“ (A2D)-Forschung im Bereich der Funktionsmaterialien und -devices, die die Kernkomponenten in modernen Schlüsselbereichen wie Energie, Kommunikation und Gesundheitswesen darstellen.

Die scia Mill 150 soll in Verbindung mit verschiedenen Lithographie-Techniken für die top-down-Herstellung von Devices und Strukturierungen einer weiten Bandbreite an Materialien im µm- und nm-Bereich genutzt werden.

Zusammen mit 30 Projektpartnern aus 8 europäischen Ländern arbeitet scia Systems seit mehr als 3 Jahren am HiPERFORM-Projekt. Das Projekt soll den Weg ebnen für ein dekarbonisiertes Transportsystem mit zuverlässigem und energieeffizientem Antrieb. Im ersten Jahr rüstete scia Systems eine Sputterkammer mit einem beheizten Substrathalter aus. Dadurch wurde die erforderliche Substrattemperatur von 800 °C beim Sputtern erreicht. Die Kammer wurde an das Fraunhofer FEP übergeben, wo die Installation im zweiten Jahr abgeschlossen wurde. Jetzt prozessiert die Anlage erste epi-AlN-Schichten.

scia Systems erhielt den Zuschlag bei einer Ausschreibung über eine Magnetronsputteranlage für das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR). Die voll automatisierte Magnetronsputteranlage zur Abscheidung GMR- und TMR basierter Multilagenschichtsystem überzeugt mit einer sehr guten Homogenität und Reproduzierbarkeit des Schichtstapels über einen Durchmesser von 300 mm.

scia Systems führte im Februar 2020 eine detaillierte Studie zur abschließenden Oberflächenformfehlerkorrektur für das TMT International Observatory LLC durch. Dabei wurde der Prototyp eines 1,4 m großen TMT-Spiegelsegmentes mittels Ionenstrahlpolieren (IBF) auf einer scia Finish 1500 Anlage bearbeitet.

scia Systems liefert zwei scia Finish 1500 an Safran Reosc in Poitiers, Frankreich. Die Anlagen werden zur finalen Polierfehlerkorrektur der hexagonalen Segmente des Hauptspiegels für das Extremely Large Telescope (ELT) der Europäischen Südsternwarte (ESO) genutzt.

Um das gesamte Spektrum der Berufsausbildung abzudecken, arbeitet scia Systems ergänzend zur eigenen Ausbildung mit der Bildungs-Werkstatt Chemnitz zusammen. Diese Verbundausbildung macht es möglich alle Ausbildungsinhalte nach Berufsbildungsgesetz an unsere Auszubildenden zu vermitteln. Die Bildungs-Werkstatt Chemnitz mit ihrem modernen und qualifizierten Bildungsangebot ist ein starker Partner, um die Qualität unserer Ausbildung auch zukünftig stetig zu verbessern.

Wir freuen uns auf eine weiterhin erfolgreiche Zusammenarbeit. Unsere offenen Ausbildungsstellen für 2020/21 finden Sie hier.

Erneut setzt die Fraunhofer Gesellschaft ihr Vertrauen in eine Ionenstrahlätzanlage von scia Systems. Den Zuschlag erhielt scia Systems für die Lieferung einer scia Mill 200 an das Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS. Die Anlage, mit Aufstellungsort Chemnitz, soll der Strukturierung von magnetischen Multilagen für GMR-Stacks (engl. giant-magneto-resistance) oder TMR-Stacks (engl. tunnel-magneto-resistance) auf standardisierten 200 mm Silizium-Wafern dienen.

scia Systems erhielt den Zuschlag bei einer Ausschreibung über eine Ionenstrahlätzanlage für das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS.

Wir freuen uns, dem Fraunhofer IMS eine scia Mill 200 zu liefern. Die Ionenstrahlätzanlage mit Endpunktdetektionsystem wird im Rahmen der vom BMBF unterstützten Initiative „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ in das Mikrosystemtechniklabor des Institutes integriert. Sie soll vorrangig der Prozessentwicklung und Herstellung von MEMS dienen, zum Beispiel für Infrarotdetektoren, Drucksensoren und biokompatible MEMS-Systeme. Dabei werden insbesondere Materialien strukturiert, die sich nicht klassisch mittels RIE ätzen lassen oder Geometrien mit hohen Aspektverhältnissen aufweisen.

Zusammen mit den Projektpartnern arbeitet scia Systems im Rahmen des von der Sächsischen Auf­baubank mit EFRE-Mitteln geförderten ALMET-Projektes an der Entwicklung von Anlagen und Prozes­sen für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten (mALD). Ziel des Projektes sind Prozes­se zur Erzeugung von formtreuen Kupfer- und Kobaltdünnschichten in einem industriell nutz­baren ALD-Reaktor. Der Reaktor realisiert plasmagestützte ALD (PALD) in einem speziellen Kammer-in-Kammer-Design. scia Systems bringt seine Erfahrung und sein Know-how mit Engagement in das Projekt ein.