Da modernes Chipdesign nach kleineren, leistungsfähigeren und kompakteren Geräten verlangt, erfordert die Fehleranalyse eine Schichtabtragung mit höchster Genauigkeit im µm-, nm- und atomaren Dickenbereich für unterschiedliche Materialien gleichzeitig. Ionenstrahlätzen ist in der Lage, diese strengen Anforderungen zu erfüllen.

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