scia Systems liefert erneut eine scia Trim 200 nach Wuhan

[Translate to Deutsch:] Wuhan Xanxi

Bereits im Jahr 2019 erhielten wir den Auftrag von Wuhan Yanxi Micro Components Co. Ltd., einem führenden chinesischen High-Tech-Unternehmen, zur Lieferung einer Ionenstrahltrimmanlage. 2022 setzte sich die Zusammenarbeit fort, als Wuhan Yanxi eine weitere scia Trim 200 bestellte. Die Auslieferung dieser neuesten Anlage nach China ist für den kommenden Oktober geplant.

Wuhan Yanxi ist ein Vorreiter im Bereich Design, Forschung & Entwicklung sowie Produktion von HF-Bauteilen und weiteren mikroelektrischen Bauteilen. Das Unternehmen etablierte eine der ersten vollständigen Produktionslinien für 200 mm BAW-Filter in China, welche Anlagen für Lithographie, Deposition, Ätzen und Packaging umfasst.

Verwendet werden HF-Filter vor allem in der modernen Mobilkommunikation. Der Übergang zum 5G-Standard stellt die Frequenzfilter-Hersteller vor technische Herausforderungen. Mit der Nutzung höherer Frequenzbereiche im Vergleich zu früheren Mobilfunkstandards und dichter beieinanderliegenden Frequenzbändern steigt das Risiko von Interferenzen. Die Entwicklung extrem selektiver Filter, die diese höheren Frequenzen effizient verarbeiten, wird daher unabdingbar.

Mit der scia Trim 200 können diese immer strengeren Anforderungen an die Filter-Produktion realisiert werden, indem einzelne Schichten der Filter atomlagen-genau geätzt werden. Ein fokussierter Ionenstrahl fährt dabei in mäanderförmigen Bahnen über die Filter und entfernt einzelne Moleküle von der Oberfläche. Die Menge des Abtrags wird, ähnlich dem Prinzip des Sandstrahlens, durch die Dauer der Bearbeitung gesteuert. Je länger der Ionenstrahl an einer Stelle verweilt, desto mehr Material wird abgetragen. Dies ermöglicht eine präzise Justierung der Filterfunktionen und führt zu einer erheblichen Steigerung der Ausbeute der Bauteile.

Die scia Trim 200 wird in einer Doppelkammer-Konfiguration geliefert, um den Durchsatz zu verdoppeln und die Effizienz signifikant zu steigern. Ein Brooks MX700 System mit 2 Beladeschleusen unterstreicht den Charakter als Produktionssystem mit hohem Durchsatzvolumen. Wir danken der Wuhan Yanxi Micro Components Co. Ltd. für ihr erneutes Vertrauen und wünschen ihnen viel Erfolg bei ihrer weiteren Arbeit. Ein besonderer Dank geht außerdem an unseren Verkaufspartner WESI für ihre wertvolle Unterstützung.

 

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