scia Systems trägt zur Erforschung piezoelektrischer Materialien und Bauelementen bei

Die scia Coat 200 im Reinraum des Christian Doppler Labors an der TU Wien.

Dr. Michael Zeuner, Geschäftsführer von scia Systems, bei der Eröffnungsfeier des CD Labors.

Piezoelektrische MEMS, auch bekannt als mikroelektromechanische Systeme, sind winzige Bauteile im Mikrometer-Bereich. Sie können elektrische Signale durch mechanische Bewegungen erzeugen und umgekehrt mechanische Bewegungen durch elektrische Spannung erzeugen. Im neuen Christian Doppler Labor, das am 13.07.2023 an der TU Wien eröffnet wurde, konzentriert sich die Forschung nun auf die grundlegenden Fragen zu piezoelektrischen Materialien und Bauelementen, um zukünftige Anwendungen wie autonomes Fahren, Echtzeit-Überwachung von Partikelbelastungen und Ultraschallsensoren zu ermöglichen.

Wir sind stolz darauf, als Industriepartner das neue Labor mit einer scia Coat 200 unterstützen zu können. Mit dieser Ionenstrahlsputteranlage können besonders präzise, glatte und gleichmäßige Beschichtungen auf den Substraten erzeugt werden, unter anderem auch aus modernen Materialien wie Aluminiumnitrid und Scandium-Aluminiumnitrid.

Die Forscher im Labor möchten zwei Herausforderungen angehen: Das Rauschen bei piezoelektrischen Silizium-MEMS untersuchen und Wege finden, es effektiv zu reduzieren. Darüber hinaus wollen sie die extrem geringen mechanischen Bewegungen verbessern, die mit piezoelektrischen MEMS erzeugt werden können. Dazu wollen sie bistabile Systeme bauen, d. h. Systeme, die sich in zwei verschiedenen stabilen Zuständen befinden können - wie ein Kippschalter. Mit piezoelektrischen Wandlern sollen die Systeme nun von einem Zustand in den anderen geschaltet werden, um größere mechanische Effekte zu erzielen.

scia Systems ist stolz darauf, die Forschung im neuen Christian Doppler Labor zu unterstützen und durch die Bereitstellung der "scia Coat 200"-Anlage einen Beitrag zur Weiterentwicklung piezoelektrischer Bauelemente zu leisten. Die enge Zusammenarbeit mit der TU Wien und Infineon Technologies AG stärkt zudem den Standort Europa und ermöglicht innovative Entwicklungen.

 

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