Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozess zur präzisen Oberflächenbearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

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scia Multi 300 für das Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf

scia Systems erhielt den Zuschlag bei einer Ausschreibung über eine Magnetronsputteranlage für das Institut für Ionenstrahlphysik und Materialforschung am Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR).

Die scia Multi 300 wird von der Abteilung Intelligente Materialien und Funktionselemente, unter Leitung von Dr. Denys Makarov angeschafft. Diese Gruppe beschäftigt sich mit formbarer Magnetoelektronik, die auch nach der Herstellung flexibel bleibt. Solche Magnetsensoren kommen in der Steuerung und Überwachung elektrischer Maschinen, wie zum Beispiel den Motoren in der Elektromobilität, zum Einsatz. Sie können in der interaktiven Unterhaltungselektronik als Steuersensoren eingesetzt werden, im Internet of Things (IOT) finden sie ein weites Einsatzgebiet, und selbst in intelligenten Verpackungssystemen und Werbematerialienwerden diese Sensoren bald ihre Fähigkeiten beweisen können. Ein weiteres Anwendungsfeld der formbaren magnetosensitiven Vorrichtungen ist die Bewegungskontrolle bei...