Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Prozesssysteme zur präzisen Oberflächenbearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

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Präzise Bearbeitung von Teleskopspiegeln für den Blick in unendliche Weiten

scia Systems liefert zwei scia Finish 1500 an Safran Reosc in Poitiers, Frankreich. Die Anlagen werden zur finalen Polierfehlerkorrektur der hexagonalen Segmente des Hauptspiegels für das Extremely Large Telescope (ELT) der Europäischen Südsternwarte (ESO) genutzt.

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