Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Plasma- und Ionenstrahl-Prozesssysteme zur nano­meter­genauen Bearbeitung von Oberflächen. Für das breite Spektrum an Beschichtungs- und Ätzverfahren bietet das Unternehmen neben Standardanlagen auch Systeme mit speziell auf Kundenwünsche angepassten Prozessabläufen. Zudem ist scia Systems ein kompetenter und zuverlässiger Serviceanbieter mit einem Leistungsportfolio vom klassischen Support bis hin zum dem Nachrüsten von vorhandenen Anlagensystemen.

News

scia Coat 500 und scia Trim 200 für die Tongji Universität in China

Das Institute Precision Optical Engineering der Tongji Universität in Shanghai, eine der renommiertesten Universitäten Chinas, hat eine scia Coat 500 und eine scia Trim 200 bestellt, welche Ende 2020 geliefert werden.

Die scia Coat 500 soll zur Herstellung von dünnen periodischen Multilagenschichten genutzt werden. Diese Schichten werden mittels dualem Ionenstrahlsputtern (DIBS) auf Röntgenspiegeln für Beamline-Optiken abgeschieden. Aufgrund der hohen Homo­genitäts­an­forderungen solcher Optiken ist eine Oberflächenkorrektur vor dem Abscheidungsprozess erforderlich. Daher wird mit der scia Trim 200 vorab eine Formfehlerkorrektur mittels lokalem Ionenstrahlglätten (IBF) durchgeführt.