Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozess zur präzisen Oberflächenbearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

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Oberflächenpolieren für das Thirty Meter Telescope (TMT) getestet

scia Systems führte im Februar 2020 eine detaillierte Studie zur abschließenden Oberflächenformfehlerkorrektur für das TMT International Observatory LLC durch. Dabei wurde der Prototyp eines 1,4 m großen TMT-Spiegelsegmentes mittels Ionenstrahlpolieren (IBF) auf einer scia Finish 1500 Anlage bearbeitet.

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