Zusammen mit den Projektpartnern arbeitet scia Systems im Rahmen des von der Sächsischen Aufbaubank mit EFRE-Mitteln geförderten ALMET-Projektes an der Entwicklung von Anlagen und Prozessen für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten (mALD). Ziel des Projektes sind Prozesse zur Erzeugung von formtreuen Kupfer- und Kobaltdünnschichten in einem industriell nutzbaren ALD-Reaktor. Der Reaktor realisiert plasmagestützte ALD (PALD) in einem speziellen Kammer-in-Kammer-Design. scia Systems bringt seine Erfahrung und sein Know-how mit Engagement in das Projekt ein.