Kyocera Tikitin ergänzt den Reinraum von VTT Finnland um ein Ionenstrahlätzsystem zur Bearbeitung von MEMS-Bauteilen

Helsinki, Finnland - Smarte Systeme und Wearables, die intelligenter, kleiner, haltbarer und präziser sind - das ist die Mission, der sich Kyocera Tikitin verschrieben hat. Auf dem Weg dorthin untersucht, entwickelt und fertigt das Unternehmen MEMS-Resonatoren aus Silizium und weicht damit von der traditionellen Verwendung von Quarz ab.

Um ihre Forschungskapazität zu erweitern, haben sie ein neues System in den Reinraum des Technischen Forschungszentrums Finnland VTT, einer der führendsten Forschungseinrichtungen Europas, installiert. Die scia Mill 200, ein hochentwickeltes Ionenstrahlätzsystem, ermöglicht hochgradig homogenes Ätzen von Wafern bis zu 200 mm und ist damit ideal für die Bedürfnisse von Kyocera. Das innovative Design umfasst einen kipp- und drehbaren Substrathalter, der eine effektive Kühlung und Heizung der Substrate ermöglicht. Dies gewährleistet optimale Bedingungen für die Strukturierung komplexer Multilagen aus metallischen und dielektrischen Materialien - eine typische Anwendung für die Herstellung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS).

Um den Ätzprozess weiter zu optimieren, verfügt die scia Mill 200 über ein optisches Endpunkt-Erkennungssystem, das die Identifizierung der geätzten Elemente und die Anwendung von definierten Ätzstopps ermöglicht, um so präzise und kontrollierte Ätztiefen zu erzeugen.

Mit dem Erwerb der scia Mill 200 stärkt Kyocera Tikitin seine Position als Weltmarktführer in der Forschung und Entwicklung von MEMS-Resonatoren. Außerdem wird hierdurch auch die Stellung von VTT als führende Forschungseinrichtung auf dem Gebiet der MEMS-Technologie gefestigt.

 

 

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