Das Raytron-Forschungsinstitut erweitert seine Technologie um eine Anlage zum lokalen Ionenstrahlätzen: die scia Trim 200
Ein neues scia Trim 200-System wurde vom kürzlich gegründeten Yantai Qixin Semiconductor Technology Institute in Betrieb genommen, einem Unternehmen, in das die Raytron Technology Co. und die Lokalregierung von Yantai gemeinsam investieren.
Das chinesiche Hightech-Unternehmen Raytron ist für seine Infrarot-Bildgebungs- und MEMS-Sensorgeräte bekannt. Es versorgt weltweit Kunden mit ungekühlten Wärmebild-MEMS-Sensoren, Wärmebilddetektoren, ASIC-Chips (Application-Specific Integrated Circuit), Wärmebild- und Temperaturmessmodulen, Wärmekameras, Laserprodukten und optoelektronischen Systemen.
Angetrieben von der Unternehmensvision, das wertvollste Chip-Unternehmen in China zu werden, investierte Raytron in ein neues Unternehmen, die Yantai Qixin Semiconductor Technology Institute Co., welches nun seine Technik mit einem System zum Ionenstrahltrimmen erweitert. Das Raytron-Forschungsinstitut, in dem sich die scia Trim 200 befinden wird, wird als offene Plattform aufgebaut, d. h. lokale Universitäten und Unternehmen können die dortige Infrastruktur und Geräte ebenfalls nutzen.
Die scia Trim 200 wird für Oberflächenfehlerkorrekturen auf Substraten bis zu 200 mm eingesetzt. Indem man dem System die Wafer-spezifischen exakte Dickenverteilung übergibt, kann die Verweilzeit des Ionenstrahls berechnet werden, die den lokalen Materialabtrag steuert. Auf diese Weise werden die Ungleichmäßigkeiten der abgeschiedenen Schichten verbessert, bis eine beeindruckend homogene Schicht entstanden ist.
Die scia Trim 200 ist ein Produktionssystem für hohe Stückzahlen und wird nicht nur für die Herstellung von BAW-Filtern eingesetzt, sondern das Yantai Qixin Semiconductor Technology Institute plant auch, die Anlage zur Herstellung von Phase Array Acoustic-Bauelementen zu verwenden.
Wir freuen uns sehr über diese erfolgreiche Zusammenarbeit und sind schon auf viele spannende Forschungsergebnisse gespannt.
- Weitere Informationen über die Anlage und die Anwendungsgebiete vom Ionenstrahlätzen finden Sie hier: scia Trim 200.
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