Ein System für all Ihre Prozesse

Unabhängig davon, ob Sie mehrere Kammern für einen bestimmten Prozess benötigen oder ob Sie unser umfangreiches Prozess-Know-how kombinieren möchten - wir haben das ideale Cluster-Layout für Sie!

Sie haben die Wahl!

Verschiedene Prozesstechnologien

  • Sequenzielle Prozessschritte auf einem Wafer ohne Vakuumunterbrechung
  • Höhere Qualität und optimaler Prozessablauf (keine Wartezeiten oder logistische Einschränkungen an verschiedenen Prozessstationen)
  • Hohe Flexibilität für Prozessentwicklung und F&E

Mehrere identische Prozesskammern

  • Verknüpfung mehrerer identischer Prozesskammern für hohen Durchsatz
  • Einheitliche Beladung für mehrere Kammern
  • Geringere Stellfläche als Einzelgeräte
     

EINSATZ MEHRERER KAMMERN

ZENTRALE VORTEILE UND LEISTUNGEN

  • Hohe Flexibilität
    Produktion und Prozessentwicklung mit zahlreichen möglichen Kombinationen von Prozessmodulen, einschließlich mehrerer Kammern in derselben Konfiguration
     
  • Reduzierung von Kosten und Platzbedarf
    Eine kombinierte Plattform anstelle mehrerer Einzelsysteme erhöht die Effizienz.
     
  • Optimierte Schnittstellen & geringe Kontamination
    Gleichmäßige Handhabung über alle Prozessstationen unter Hochvakuum.
     
  • Verbesserte Benutzerfreundlichkeit
    Die Cluster-Software-Steuerung ermöglicht eine einheitliche Rezepturverwaltung über alle Prozessmodule hinweg.
     
  • Erhöhter Durchsatz
    Durchführung einer durchgehenden Prozesskette ohne Unterbrechung des Prozesses oder mit mehreren identischen Kammern.

Ionenstrahltrimmen

(Reaktives) Ionenstrahlätzen

(Duales) Ionenstrahlsputtern

Elektronenstrahlverdampfen

scia Cluster 200

Atomlagenabscheidung

Plasma-gestütztes CVD

Magnetronsputtern

Reaktives Ionenätzen

Haben Sie noch Fragen?

Unser Team unterstützt Sie gerne bei der Suche nach der optimalen Technologie und Systemkonfiguration für Ihre Produktionsanforderungen. Bitte sprechen Sie uns an.

 

Weitere maßgeschneiderte Lösungen

scia Inline 400

zur Formung und Beschichtung von Rasierklingenschneiden

Kundenspezifische Systeme

für Ihre Bedürfnisse, in verschiedenen Konfigurationen

Produktübersicht

Laden Sie unsere Broschüre als PDF herunter.