Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozesse zur präzisen Oberflächen­­­­bearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

Produkte

Unsere Systeme sind flexibel und modular auf­gebaut. Dadurch können wir Ihnen sowohl Standard- als auch Individual­lösungen anbieten.

Anwendungen

Unsere Anlagen werden vorrangig für die Her­stel­lung von MEMS & Präzisionsoptiken, aber auch in der Astronomie & Medizintechnik genutzt.

Unternehmen

Anspruchsvoll die neusten Technologien voran­treiben und sich dabei ständig weiterentwickeln - das macht scia Systems aus. 

scia Systems erhält einen Auftrag für ein kombiniertes Ionenstrahl-Sputter- und Ätzsystem vom NIST

Das National Institute of Standards and Technology (NIST), eines der ältesten Institute für physikalische Wissenschaften in den USA, hat eine scia Coat 200 erworben, um Metalle und dielektrischen Materialien abzuscheiden und u.a. Sensoren zu strukturieren. Der Kunde wird die Anlage in der Boulder Microfabrication Facility (BMF) installieren, einem Fertigungszentrum für Mikroelektronik der Reinraumklasse 100. Das hochmoderne Forschungszentrum unterstützt das NIST bei der Herstellung von mikroelektronischen und mikroelektromechanischen (MEMS) Bauteilen der nächsten Generation

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SPIE Advanced Lithography

2024-02-27 bis 2024-02-28
San Jose, USA
Stand: 733 (Standplan)
Partner vor Ort: AARD Technology

GOMACTech

2024-03-19 bis 2024-03-20
North Charleston, USA
Stand: 110
Partner vor Ort: AARD Technology

Semicon China

2024-03-20 bis 2024-03-22
Shanghai, China
Stand:  N4 | 4783
Partner vor Ort: WESi Technology

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