scia Systems gehört nun zu VON ARDENNE

VON ARDENNE GmbH

Die VON ARDENNE GmbH, ein Hersteller von Vakuum­beschichtungs­anlagen mit Sitz in Dresden, ist eine Beteiligung an dem Unternehmen scia Systems GmbH eingegangen. Als Mehrheits­eigner wird VON ARDENNE maßgebliche Unter­stützung auf dem Weg zum Erfolg leisten.

Die in Chemnitz ansässige scia Systems GmbH verfügt über große Erfahrungen in Ionenstrahl- und Plasma­technologien. Erfolgreiche Installationen von komplexen Lösungen für Kunden der Mikroelektronik/Optik und ein erfahrenes, eingespieltes Team von Wissenschaftlern und Ingenieuren sind die Basis für eine vielversprechende Zukunft.

Produkt­portfolio und Know-how von scia Systems ergänzen sich mit der Kompetenz und einer starken Markt­position der VON ARDENNE GmbH. Mit ihren Produkten und Dienstleistungen wird sich scia Systems international als leistungsfähiges Unternehmen etablieren.

VON ARDENNE ist froh darüber, an der weiteren Entwicklung intensiv beteiligt zu sein.

scia Systems GmbH

scia Systems wurde im Jahr 2013 ins Leben gerufen, um eine lange und erfolgreiche Tradition in der Entwicklung von speziellen Vakuum- Prozess­technologien fort­zu­führen.

scia Systems verfügt über ein einzigartiges Wissen in der Herstellung von komplexen Vakuumanlagen zur Herstellung von Hochfrequenzfiltern und  Schreib-Lese-Köpfen für Festplatten. Die Ingenieure und Mitarbeiter von scia Systems haben spezielle Ionenstrahl-Verfahren entwickelt, die weltweit bei den führenden Herstellern dieser Bauteile eingesetzt werden. Auch in der Fertigung optischer Präzisions­bauteile hat das Team von scia Systems neuartige Lösungen für die Beschichtung von Optiken für die extreme Ultraviolett-Lithographie (EUVL) und Verfahren zur Polier­fehlerkorrektur von optischen Bauteilen mit Ionenstrahlen implementiert.

In der Ionen­strahl­technologie deckt scia Systems das gesamte Spektrum von Verfahren ab, von reaktivem Ionen­strahl­ätzen über Ionen­strahl­beschichtung bis hin zum lokalen Dimensions­trimmen mit fokussierten Ionen­strahlen. Die Verfahren nutzen spezielle Ionen­strahl­quellen und können auf allen gängigen Substrat­größen eingesetzt werden. Insbesondere die Anlagen aus der Produkt­reihe scia Trim definieren dabei weltweit den Standard für die lokale Schicht­dicken­korrektur auf Wafern für die MEMS-Fertigung.

scia Systems rüstet auch die optische Industrie mit Anlagen und Technologien für die Ultra-Präzisions­fertigung aus. Besonders hervorzuheben sind dabei Anlagen zur Multi­lagen­beschichtung von Röntgen­optiken und Laser­optiken im sichtbaren Spektral­bereich. Diese Anwendungen werden von Systemen für die lokale Polier­fehler­korrektur von optischen Bau­teilen mit Ionen­strahlen ergänzt.

Schließlich werden auch modulare und flexible Anlagen nach kunden­spezifischen Anforderungen sowohl für Anwendungen in industrieller Fertigung als auch in Forschung und Entwicklung gefertigt. Derartige Systeme können die Synergie der verfügbaren Prozess­technologien in der VON ARDENNE Firmen­gruppe nutzen und in ausgereiften Anlagen­konfigurationen vereinigen.

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