scia Mill 150 für die University of Leeds

University of Leeds

scia Systems erhielt den Zuschlag bei der Ausschreibung einer Ionenstrahlätzanlage der School of Electronic and Electrical Engineering der University of Leeds. Wir freuen uns der Universität mit der scia Mill 150 eine Anlage zu liefern, welche die nötige Flexibilität für die vielfältigen Anforderungen eines multidisziplinären Forschungsumfelds aufweist. Genutzt wird das System beispielsweise zum Ätzen von magnetischen Nanosystemen und GMR-Schichtstapeln, III-V-Halbleitern für photonische Anwendungen und Quarz-Nanoimprint-Stempeln sowie für das reaktive Ätzen. Mit ihrer Einzelsubstratschleuse ist sowohl die Beladung mit Substraten von bis zu 150 mm als auch von Carriern für mehrere kleine Proben möglich. Durch ihre Reaktivgaskompatibilität ermöglicht die scia Mill 150 zudem Prozesse mit fluor- und chlorhaltigen Gasen. Optional bietet das System auch Upgrade-Möglichkeiten, zum Beispiel mit einem SIMS zur Endpunktdetektion.

Eines der Forschungsgebiete der Universität betrifft künstliches Spin-Eis, bei dem es sich um geometrisch frustrierte magnetische Systeme handelt.  Die scia Mill 150 kann dabei unter anderem dafür genutzt werden, das ferromagnetische Material (FM) zu strukturieren, z. B. durch das Ätzen kleiner Inseln in die FM-Schicht.

Beispielbilder von künstlichem Spin-Eis in Kagome-Anordnung

  • SEM image of the magnetic structure

    REM Bild der magnetischen Struktur. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

    REM Bild der magnetischen Struktur. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

  • AFM height map of the structure.

    AFM Höhenkarte der Struktur. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

    AFM Höhenkarte der Struktur. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

  • Magnetic force microscope image

    MFM Bild der magnetischen Struktur. Die positive / negative Phase zeigt die Nord / Süd-Pole jedes winzigen Magneten an. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

    MFM Bild der magnetischen Struktur. Die positive / negative Phase zeigt die Nord / Süd-Pole jedes winzigen Magneten an. Mit freundlicher Genehmigung der University of Leeds.

Reinraum der Universität Leeds

Reinraum University of Leeds