DIAS Infrared bestellt eine scia Mill 150

DIAS Infrared

DIAS Infrared aus Dresden, führend in der Infrarottechnologie, bestellte die Ionen- strahlätzanlage scia Mill 150. Das System wird zum Ätzen von Lithiumtantalat, für die Produktion von technologisch anspruchs-vollen Infrarotsensoren, genutzt.

Das Ionenstrahlsystem scia Mill 150 wird im Juni 2014 am Produktionsstandort Dresden aufgebaut. Das System zeichnet sich durch seine robuste Bauweise und Flexibilität aus. Es bietet, durch die Nutzung der Mikrowellen-Ionenstrahlquelle MW218-e, eine gute Ätzgleichmäßigkeit bei einer hohen Ätzrate. Zusätzlich wird die Temperatur des Substrates unter Verwendung einer Heliumrückseitenkühlung gesteuert.