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Smarte Systeme und intelligente Wearables, das ist die Mission, der sich Kyocera Tikitin verschrieben hat. Auf dem Weg dorthin entwickelt und fertigt das Unternehmen MEMS-Resonatoren aus Silizium und weicht damit von der traditionellen Verwendung von Quarz ab. Um ihre Forschungskapazität zu erweitern, haben sie eine scia Mill 200, ein hochentwickeltes Ionenstrahlätzsystem, in den Reinraum des Technischen Forschungszentrums Finnland VTT installiert.

Wuhan Yanxi ist ein Vorreiter im Bereich Design, Forschung & Entwicklung sowie Produktion von HF-Bauteilen und weiteren mikroelektrischen Bauteilen. Das Unternehmen etablierte eine der ersten vollständigen Produktionslinien für 200 mm BAW-Filter in China, welche Anlagen für Lithographie, Deposition, Ätzen und Packaging umfasst. Bereits im Jahr 2019 erhielten wir den Auftrag dieses führenden chinesischen High-Tech-Unternehmens zur Lieferung einer Ionenstrahltrimmanlage. 2022 setzte sich die Zusammenarbeit fort, als Wuhan Yanxi eine weitere scia Trim 200 bestellte.

Im neuen Christian Doppler Labor, das an der TU Wien eröffnet wurde, konzentriert sich die Forschung auf die grundlegenden Fragen zu piezoelektrischen Materialien und Bauelementen, um zukünftige Anwendungen wie autonomes Fahren, Echtzeit-Überwachung von Partikelbelastungen und Ultraschallsensoren zu ermöglichen. Wir sind stolz darauf, das Labor mit einer scia Coat 200 unterstützen zu können. Mit dieser Ionenstrahlsputteranlage können besonders präzise, glatte und gleichmäßige Beschichtungen auf den Substraten erzeugt werden, unter anderem auch aus Aluminiumnitrid und Scandium-Aluminiumnitrid.

Ein neues scia Trim 200-System wurde vom kürzlich gegründeten Yantai Qixin Semiconductor Technology Institute in Betrieb genommen, einem Unternehmen, in das die chinesische Hightech-Firma Raytron Technology Co. und die Lokalregierung von Yantai gemeinsam investieren. Das Raytron-Forschungsinstitut, in dem sich die scia Trim 200 befinden wird, wird als offene Plattform aufgebaut, d. h. lokale Universitäten und Unternehmen können die dortige Infrastruktur und Geräte ebenfalls nutzen. Dort wird die Anlage für Oberflächenfehlerkorrekturen auf Substraten bis zu 200 mm eingesetzt.

Die Förderung sozialer und gemeinnütziger Projekte ist ein wichtiger Aspekt unserer Firmenphilosophie. Als weltweit tätiges Unternehmen wissen wir, wie wichtig es ist, die lokale Verbundenheit zu pflegen und die Region zu unterstützen, in der wir tätig sind. Damit können wir helfen, Chemnitz und Umgebung zu einer attraktiven Heimat für Familien, Studenten und Fachkräften zu machen. Wir sind deshalb stolz darauf, kleine und große Vereine mit insgesamt 5.000 Euro zu unterstützen.

Unsere neuste Magnetronsputteranlage scia Multi 500 wurde speziell für die Multilagenbeschichtungen von Optiken mit (Sub-)Nanometergenauigkeit entwickelt. Durch die präzise Positionierung des Substrats und eine synchronisierte lineare Bewegung und Rotation werden Gradientenschichten und eine hervorragende Homogenität der Abscheidung erreicht.

Das chinesische Unternehmen TJ Innovative Semiconductor Substrate Technology Co., Ltd. (ISST) hat sich mit seiner Gründung 2022 als Anbieter heterogener Integrationstechnologien für die Halbleiterindustrie am Markt positioniert. Für seine Erweiterungspläne und seine neuen Produktionslinien hat ISST nun eine scia Trim 200 erworben. Mit diesem System lassen sich Wafer-Oberflächen mittels Ionenstrahltrimmen ultra-präzise bearbeiten

Im Herzen des Wissenschaftsparks für Mikroelektronik in der Nanchang Hightech-Zone wurde im März 2022 die Runxin MEMS Technologies Co. Ltd. gegründet, eine neue industrielle Plattform für die MEMS-Produktion. Das Unternehmen erweitert nun seine Kapazitäten und hat dazu eine scia Trim 200 bestellt. Mit Hilfe dieses Ionenstrahltrimmsystems soll vor allem die Produktion von BAW- und SAW-Filtern effizienter werden. Durch das Trimmen der Schichtdicken kann die Ausbeute an funktionalen Bauteilen auf bis zu 90% zu gesteigert werden.

Wir freuen uns, den Verkauf einer Ionenstrahlätz-Anlage an eine weitere chinesische Top-C9-Universität bekannt geben zu dürfen: die Shanghai Jiao Tong University hat sich zu dem Kauf einer scia Mill 200 entschieden. Mit rund 40.000 Studenten bietet die SJTU Studienmöglichkeiten in neun Hauptdisziplinen: Wirtschaft, Recht, Literatur, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen, Landwirtschaft, Medizin, Management und Kunst. scia Systems wird die Universität in ihrem Ziel, eine "umfassende, innovative und internationale" Weltklasse-Universität zu werden, durch die Lieferung einer flexiblen Ionenstrahl-Ätzanlage unterstützen.

Die Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule (RWTH) Aachen ist mit über 47.000 Studierenden die zweitgrößte Universität für technische Studiengänge in Deutschland. Im dortigen Forschungslabor Mikroelektronik Aachen für 2D-Elektronik (ForLab 2D-ForME) soll die Machbarkeit einer großflächigen Herstellung von 2D-Schichten gezeigt werden. Die hierfür benötigten Geräte werden im Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie (ZMNT) und nun durch eine scia Coat 200 komplettiert.