Aktuelle Nachrichten

scia Systems ist SEMI Mitglied

Wir sind stolz, dass scia Systems ab sofort ein offizielles Mitglied der SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) ist.

SEMI vertritt die Interessen seiner Mitgliedsunternehmen aus der globalen Lieferkette für Elektronikprodukte vom Design bis zur Fertigung und unterstützt die Halbleiterindustrie bestmöglich bei der Entwicklung lebensverändernder Technologien. Weltweit sind über 3.000 Halbleiterhersteller und Zulieferer in diesem Branchenverband organisiert.

Möchten Sie mehr über unsere Lösungen für die Halbleiter- und MEMS-Industrie erfahren? Besuchen Sie unsere Info-Seite www.scia-systems.com/mikroelektronik oder vereinbaren Sie einen Termin mit unserem technischen Verkaufsteam für ein kurzes Gespräch.

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SEMI Mitglied Logo

scia Systems präsentiert Ionenstrahl- und Plasmatechnologien zur präzisen Bearbeitung von High-Tech Optiken auf der Optatec 2024

Die scia Systems GmbH wird auf der Optatec 2024 vertreten sein. Vom 14. bis 16. Mai 2024 stellt das Unternehmen die neuesten Prozesslösungen zum Beschichten und Strukturieren, basierend auf fortschrittlichen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien, auf der Messe in Frankfurt a. M. vor. Die Anwendungen reichen hierbei von der Herstellung von hochreflektierenden und Antireflexbeschichtungen über die Formfehlerkorrektur bei Röntgen- und Teleskopspiegeln bis hin zum Strukturieren von optischen Gittern für Augmented Reality (AR)-Brillen.

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scia Systems erhält einen Auftrag für eine scia Etch 300 von der Ernst-Abbe-Hochschule Jena

Die Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena, die zugleich die größte und forschungsstärkste Fachhochschule Thüringens ist, hat kürzlich eine scia Etch 300 erworben. Die Anlage ist in der Lage, mit einem speziellen reaktiven Ionenätzverfahren (RIE) hochentwickelte optische Oberflächen mit anti-reflektiven Nanostrukturen herzustellen. Sie bearbeitet sowohl flache Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm als auch stark gekrümmte, voluminöse, dreidimensionale Objekte wie Linsen, Spiegel und Prismen.

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scia Systems erhält einen Auftrag für ein kombiniertes Ionenstrahl-Sputter- und Ätzsystem vom NIST

Das National Institute of Standards and Technology (NIST), eines der ältesten Institute für physikalische Wissenschaften in den USA, hat eine scia Coat 200 erworben, um Metalle und dielektrischen Materialien abzuscheiden und u.a. Sensoren zu strukturieren. Der Kunde wird die Anlage in der Boulder Microfabrication Facility (BMF) installieren, einem Fertigungszentrum für Mikroelektronik der Reinraumklasse 100. Das hochmoderne Forschungszentrum unterstützt das NIST bei der Herstellung von mikroelektronischen und mikroelektromechanischen (MEMS) Bauteilen der nächsten Generation

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Neues Anwendungsbeispiel: Ionenstrahlbeschichtung von Nanoverschleißschutzschichten für Mikrozerspanungswerkzeuge

In einer Vielzahl von Industriezweigen, wie beispielsweise der Medizintechnik, dem Auto­mobil­bau, der Luft- und Raumfahrt, dem Werkzeug- und Formenbau sowie der Mikro­elektronik, ist die Miniaturisierung von Bauteilen ein ungebrochener Trend. Ein hoher Kostenfaktor bei der Produktion dieser Bauteile ist dabei die durch den Verschleiß begrenzte Lebensdauer der Werkzeuge. Der Einsatz von Dualem Ionenstrahlsputtern für die Abscheidung von Nano-Verschleißschutzschichten hat sich dabei als eine wegweisende Lösung für Präzisions-Mikroschneid­werkzeuge erwiesen.

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Ionenstrahltechnologie für Wafer Works

Wir freuen uns, die Partnerschaft zwischen Wafer Works und scia Systems bekannt zu geben, mit dem Ziel, die Produktionsleistung zu steigern und gleichzeitig eine gleichbleibend hohe Produktqualität zu gewährleisten.

Als einer der zehn weltweit führenden Anbieter von Halbleiter-Wafer-Materialien ist Wafer Works unter anderem auf polierte Silizium-Wafer spezialisiert. Im Rahmen dieser Zusammenarbeit erhält das taiwanesische Unternehmen ein Ionenstrahl-Bearbeitungssystem von scia Systems.

Kyocera Tikitin ergänzt den Reinraum von VTT Finnland um ein Ionenstrahlätzsystem zur Bearbeitung von MEMS-Bauteilen

Smarte Systeme und intelligente Wearables, das ist die Mission, der sich Kyocera Tikitin verschrieben hat. Auf dem Weg dorthin entwickelt und fertigt das Unternehmen MEMS-Resonatoren aus Silizium und weicht damit von der traditionellen Verwendung von Quarz ab. Um ihre Forschungskapazität zu erweitern, haben sie eine scia Mill 200, ein hochentwickeltes Ionenstrahlätzsystem, in den Reinraum des Technischen Forschungszentrums Finnland VTT installiert.

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scia Systems liefert erneut eine scia Trim 200 nach Wuhan

Wuhan Yanxi ist ein Vorreiter im Bereich Design, Forschung & Entwicklung sowie Produktion von HF-Bauteilen und weiteren mikroelektrischen Bauteilen. Das Unternehmen etablierte eine der ersten vollständigen Produktionslinien für 200 mm BAW-Filter in China, welche Anlagen für Lithographie, Deposition, Ätzen und Packaging umfasst. Bereits im Jahr 2019 erhielten wir den Auftrag dieses führenden chinesischen High-Tech-Unternehmens zur Lieferung einer Ionenstrahltrimmanlage. 2022 setzte sich die Zusammenarbeit fort, als Wuhan Yanxi eine weitere scia Trim 200 bestellte.

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scia Systems trägt zur Erforschung piezoelektrischer Materialien und Bauelementen bei

Im neuen Christian Doppler Labor, das an der TU Wien eröffnet wurde, konzentriert sich die Forschung auf die grundlegenden Fragen zu piezoelektrischen Materialien und Bauelementen, um zukünftige Anwendungen wie autonomes Fahren, Echtzeit-Überwachung von Partikelbelastungen und Ultraschallsensoren zu ermöglichen. Wir sind stolz darauf, das Labor mit einer scia Coat 200 unterstützen zu können. Mit dieser Ionenstrahlsputteranlage können besonders präzise, glatte und gleichmäßige Beschichtungen auf den Substraten erzeugt werden, unter anderem auch aus Aluminiumnitrid und Scandium-Aluminiumnitrid.

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Das Raytron-Forschungsinstitut erweitert seine Technologie um eine Anlage zum lokalen Ionenstrahlätzen: die scia Trim 200

Ein neues scia Trim 200-System wurde vom kürzlich gegründeten Yantai Qixin Semiconductor Technology Institute in Betrieb genommen, einem Unternehmen, in das die chinesische Hightech-Firma Raytron Technology Co. und die Lokalregierung von Yantai gemeinsam investieren. Das Raytron-Forschungsinstitut, in dem sich die scia Trim 200 befinden wird, wird als offene Plattform aufgebaut, d. h. lokale Universitäten und Unternehmen können die dortige Infrastruktur und Geräte ebenfalls nutzen. Dort wird die Anlage für Oberflächenfehlerkorrekturen auf Substraten bis zu 200 mm eingesetzt.

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