In ihrem Vortrag auf dem Photonics Spectra Integrated Photonics Summit 2026, erläutert Susanne Hartmann die typischen Herausforderungen beim Ionenstrahlätzen und erklärt, wie das reaktive Ionenstrahlätzen (RIBE) Seitenwandeffekte wie Footing, Fencing und Trenching bei der Bearbeitung von Dünnschicht-Lithiumniobat-Wellenleitern behebt und dadurch geringere optische Verluste in photonischen integrierten Schaltkreisen ermöglicht.