Augmented Reality (AR) und Mixed Reality (MR) haben sich innerhalb kürzester Zeit von einem futuristischen Konzept zu einer praktischen Technologie entwickelt und damit die Möglichkeiten zahlreicher Branchen verändert. Für die Entwicklung leichter Near-Eye-Displays werden Oberflächenreliefgitter (SRG) eingesetzt, um das Licht von der Quelle in den Wellenleiter einzukoppeln und es anschließend zum Auge hin zu leiten. Ionenstrahltrimming eignet sich als flexibler Ansatz zur Herstellung von SRGs mit unterschiedlichen Grabentiefen.
Diese Studie zeigt, wie reaktives Ionenstrahltrimmen genutzt werden kann, um schräge Gitter mit unterschiedlichen Geometrien hinsichtlich Breite und Abstand herzustellen, die den spezifischen Anforderungen der Nanoimprint-Lithografie entsprechen.