Die scia Mill 200 wird zur Strukturierung komplexer Multilagen über die gesamte Substratfläche eingesetzt.

Chemnitz, 23. Februar 2026 – Die scia Systems GmbH, der Technologieführer für hochgenaue, komplexe Ionenstrahl- und Plasmaprozessausrüstung in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie, gab heute bekannt, dass das Institut National d’Optique (INO), Kanadas größtes Kompetenzzentrum für Optik und Photonik, vor Kurzem ein scia Mill 200-System an seinem Standort in Québec installiert hat.

Vollflächiges Ätzen auf 200-mm-Wafer

In der MEMS-Industrie wird Ionenstrahlätzen typischerweise eingesetzt, um verschiedene Metalle, dielektrische Materialien und Mikrochip-Strukturen mit Nanometer- und Subnanometer-Präzision abzutragen. Darüber hinaus ermöglicht diese Technologie, optische Komponenten hochpräzise anzupassen und 3D-optoelektronische sowie andere photonische Mikrostrukturen wie etwa Wellenleiter und Gitter herzustellen.

Darüber hinaus wird die scia Mill 200 zur Strukturierung komplexer Schichten aus verschiedenen Materialien eingesetzt, darunter auch vielversprechende neue Materialien wie LNOI und SiC. Eine zirkulare Ionenstrahlquelle ätzt die volle Substratoberfläche unter einem definierten Winkel. Dank der vollständigen Reaktivgaskompatibilität des Systems können reaktive Ionenstrahlätzprozesse mit verbesserter Selektivität und höchster Ätzrate durchgeführt werden. Verschiedene Endpunktdetektionssysteme können zur Prozesssteuerung integriert werden. Das flexible Design der scia Mill-Serie ermöglicht die Anpassung als Einzelsubstratausführung oder in einer Cluster-Anordnung für die Serienfertigung mit bis zu drei Prozesskammern und zwei Kassetten-Ladeschleusen. 

Strukturierung von Wellenleitern durch Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) und chemisch unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE)

Die bei INO installierte Anlage scia Mill 200 kann Wellenleiter und andere optische Bauelemente mit Hilfe der RIBE- (Reactive Ion Beam Etching) und CAIBE-Technologie (Chemically Assisted Ion Beam Etching) bearbeiten. Dabei handelt es sich um spezielle Formen des Ionenstrahlätzens, bei denen zusätzlich zu Inertgasen reaktive Gase eingesetzt werden, um beispielsweise die Selektivität zu erhöhen, die Grabenwinkel zu beeinflussen oder die Ätzraten zu verbessern.  

„Wir sind stolz, vom INO, einem weltweit führenden Institut für Hochtechnologie, als vertrauenswürdiger Anbieter von Ionenstrahllösungen für die Herstellung seiner Produkte ausgewählt worden zu sein“, erklärte Dr. Michael Zeuner, CEO von scia Systems. „Wir freuen uns, ihre außergewöhnliche Forschung im Bereich der Optoelektronik unterstützen zu dürfen.“

• Weitere Informationen zur scia Mill 200 finden Sie unter www.scia-systems.com/scia-mill-200.
   
• Erfahren Sie mehr über die Technologie des Ionenstrahlätzens.
   
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Die scia Systems GmbH

Das 2013 gegründete Unternehmen scia Systems ist der Spezialist für Dünnschicht-Prozessequipment basierend auf komplexen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Chemnitzer Unternehmen entwickelt und fertigt Anlagen für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung. Die Systeme kommen weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen zum Einsatz, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.

INO (Institut national d'optique)

Als Kanadas größtes Kompetenzzentrum für Optik und Photonik entwickelt INO maßgeschneiderte Lösungen für die unterschiedlichen Anforderungen von Unternehmen aus Quebec und ganz Kanada in einer Vielzahl von Branchen. Als führendes Unternehmen im Bereich Hochtechnologie hat INO über 7.500 Projekte umgesetzt, 77 Technologietransfers durchgeführt und zur Gründung von 35 neuen Unternehmen mit über 2.000 Beschäftigten beigetragen. Die Aktivitäten von INO werden durch die kontinuierliche Zusammenarbeit mit dem Ministerium für Wirtschaft, Innovation und Energie sowie der kanadischen Wirtschaftsförderungsagentur für die Regionen Quebecs ermöglicht. www.ino.ca/en/

Kontakt:

Mandy Gebhardt
Head of Marketing
scia Systems GmbH
Tel: +49 371 33561 322
E-Mail: m.gebhardt@scia-systems.com