Die scia Coat 200 ermöglicht Beschichtungs- und Ätzprozesse mit hervorragender Homogenität.

Chemnitz, 11. Februar 2026 – Die scia Systems GmbH, Branchenführer im Bereich modernster Ionenstrahl- und Plasmaverfahren für die Mikroelektronik, MEMS und Präzisionsoptik, gab heute bekannt, dass SPINTEC (SPINtronique et TEchnologie des Composants), eines der weltweit führenden Forschungslabore für Spintronik, kürzlich eine scia Coat 200 von scia Systems installiert hat. Das neue System wurde auf dem MINATEC-Campus, einem internationalen Zentrum für Mikro- und Nanotechnologieforschung in Grenoble, installiert. Dort sollen hochleistungsfähige magnetische Tunnelverbindungen (MTJs) für nichtflüchtige Speicher (STT-MRAM), Sensoren und neuromorphe Computer hergestellt werden. 

Hochwertige Multilagenbeschichtung mit der scia Coat 200 

Die scia Coat 200 nutzt Ionenstrahlsputtern (IBS) zur Abscheidung besonders glatter, dichter und fehlerfreier Schichten. Dabei sorgt die Substratrotation und -neigung für eine hervorragende Homogenität der Beschichtung auf bis zu 200 mm großen Substraten. Durch die Nutzung einer zweiten Ionenstrahlquelle ermöglicht das System vollflächiges homogenes Ionenstrahlätzen. Das dient der Vorreinigung des Substrats und der Beeinflussung der aufwachsenden Schicht. Mit der in-situ Prozesskontrolle wird eine hervorragende Prozessstabilität gewährleistet. Das scia Coat 200 erlaubt sowohl das Handling von Wafern als auch von beliebig geformten Substraten. 

„Wir freuen uns, dass SPINTEC sich für scia Systems als Lieferanten ihres Ionenstrahlsputtersystems zur Herstellung von magnetischen Tunnelverbindungen entschieden hat.“, erklärte Dr. Michael Zeuner, Geschäftsführer von scia Systems.

• Weitere Informationen zur scia Coat 200 finden Sie unter www.scia-systems.com/scia-coat-200.
   
• Erfahren Sie mehr über die Technologie des Ionenstrahlsputterns.
   
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Die scia Systems GmbH

Das 2013 gegründete Unternehmen scia Systems ist der Spezialist für Dünnschicht-Prozessequipment basierend auf komplexen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Chemnitzer Unternehmen entwickelt und fertigt Anlagen für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung. Die Systeme kommen weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen zum Einsatz, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.

Kontakt:

Mandy Gebhardt
Head of Marketing
scia Systems GmbH
Tel: +49 371 33561 322
E-Mail: m.gebhardt@scia-systems.com