Der scia Cluster 200 verspricht einen echten Innovationssprung bei der Entwicklung von Materialien und Beschichtungstechnologien für Brennstoffzellen-, Elektrolyse- und Batterieelektroden

Chemnitz, 14. Oktober 2025 - Die scia Systems GmbH, der Technologieführer für hochgenaue, komplexe Ionenstrahl- und Plasmaprozessausrüstung in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie, gibt die Lieferung eines hochmodernen Clustersystems an das fem Forschungsinstitut in Schwäbisch Gmünd bekannt. Das System, ein scia Cluster 200, wird zukünftig im Rahmen des Leuchtturmprojekts H2-Wandel für die Entwicklung innovativer Beschichtungen für Brennstoffzellen-, Elektrolyse- und Batterieelektroden genutzt.

Hochflexible und skalierbare Ionenstrahl- und Plasmabearbeitung für Forschung, Entwicklung und Produktion

Der scia Cluster 200 ist eine modulare Plattform für Dünnschicht-Vakuumprozesse. Bis zu fünf gleiche oder unterschiedliche Prozesstechnologien können an einer zentralen Beladeeinheit zum Beschichten, Ätzen oder Reinigen von Substraten bis 200 mm installiert werden. Das System wird sowohl im industriellen Umfeld in der Halbleiter- und der Präzisionsoptikindustrie als auch in Forschung und Entwicklung eingesetzt und kann individuell an die jeweilige Kundenanwendung angepasst werden.

Der scia Cluster 200 ist einerseits als Single-Prozess-Cluster erhältlich, bei dem bis zu fünf identische Prozesskammern und eine oder mehrere Vakuumschleusen an eine zentrale Transferkammer angebunden sind. Dieses Modell bietet eine signifikante Durchsatzerhöhung bei geringeren Kosten und Platzbedarf im Vergleich zu Einzelkammersystemen und wird deshalb hauptsächlich in Produktionsumgebungen eingesetzt. 

Für mehrstufige Prozesse, wie sie zumeist in Forschung und Entwicklung eingesetzt werden, kommen Multi-Prozess-Cluster zum Einsatz. In diesen Systemen werden verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse sequenziell im selben Cluster ohne Vakuumunterbrechung durchgeführt. Dies reduziert die Gesamtprozesszeit erheblich. Kontamination und Oxidation werden vermieden und die Oberflächenqualität bleibt erhalten. Dank der Modularität des Systems können Kammern für maßgeschneiderte Konfigurationen ausgetauscht oder später nachgerüstet werden. Langfristige Investitionssicherheit wird so von Anfang an gewährleistet.

Vorreinigung, Sputtern und (PE)ALD in einem System 

Um die hochwertige Forschungsinfrastruktur am fem zu erweitern, stattet scia Systems das Institut mit einem erweiterbaren Clustersystem zur Herstellung von Brennstoffzellen-, Elektrolyse- und Batterieelektroden auf 200 mm Substraten aus. Neben einer Schleusenkammer, einer Transferkammer mit Roboterhandler sowie einer Glovebox besteht der bestellte scia Cluster 200 aus drei Prozesskammern - zur Vorbehandlung, zum Sputtern und zur Beschichtung durch (PE)ALD. Die Vorreinigung basiert auf dem scia Etch 200 Modul, bei dem mittels Plasmaätzen die Substratoberfläche vor der Beschichtung gereinigt wird. Die hochgenaue Beschichtung der Substrate mit Metallen oder Metalloxiden/-nitriden wird durch Magnetronsputtern (PVD) und/oder Atomlagenabscheidung (ALD) realisiert. Das Sputtermodul basiert dabei auf der scia Magna 200. Die ALD-Prozesskammer basiert auf dem System scia Atol 200. 

"Wir freuen uns, dass das fem bei der Entwicklung seiner innovativen Elektroden auf Prozessequipment von scia Systems setzt. Mit unserem scia Cluster 200 erhält das Institut eine effiziente Prozesslösung für eine Vielzahl von Beschichtungsaufgaben und ist damit perfekt vorbereitet, die Entwicklung in diesem zukunftsträchtigen Bereich voranzutreiben", sagt Michael Zeuner, Geschäftsführer der scia Systems GmbH. 

Weitere Informationen über scia Cluster 200 finden Sie unter: www.scia-systems.com/scia-cluster-200

Die scia Systems GmbH

Das 2013 gegründete Unternehmen scia Systems ist der Spezialist für Dünnschicht-Prozessequipment basierend auf komplexen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Das Chemnitzer Unternehmen entwickelt und fertigt Anlagen für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung. Die Systeme kommen weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen zum Einsatz, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.

Kontakt:

Mandy Gebhardt
Head of Marketing
scia Systems GmbH
Tel: +49 371 33561 322
E-Mail: m.gebhardt@scia-systems.com