Chemnitz, 13. Mai 2024— Die scia Systems GmbH, der Technologieführer für hochgenaue, komplexe Ionenstrahl- und Plasmaprozessausrüstung in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie, wird auf der Optatec 2024 vertreten sein. Vom  14. bis 16. Mai 2024 stellt das Unternehmen die neuesten Prozesslösungen zum Beschichten und Strukturieren, basierend auf fortschrittlichen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien, auf der Messe in Frankfurt a. M. vor. Die Anwendungen reichen hierbei von der Herstellung von hochreflektierenden und Antireflexbeschichtungen über die Formfehlerkorrektur bei Röntgen- und Teleskopspiegeln bis hin zum Strukturieren von optischen Gittern für Augmented Reality (AR)-Brillen.

Ionenstrahlbasierte Herstellung von Diffraktionsgittern (SRG) für optische Wellenleiter

Eine der größten technologischen Herausforderungen im Zusammenhang mit Augmented-Reality- (AR) und Mixed-Reality-Brillen (MR) ist die Herstellung von optischen Wellenleitern. Bei beiden Technologien werden Diffraktionsgitter, so genannte Surface Relief Gratings (SRG), als Ein- und Auskoppler des Lichts zwischen Display und Auge verwendet. Für einen optimalen Kopplungseffekt und somit eine hohe Helligkeit muss das SRG schräg ausgerichtet werden, sodass ein sogenanntes „Slanted Grating“ entsteht. Für hochentwickelte Gitterdesigns sind dazu oft unterschiedliche Kippwinkel und Ätztiefen erforderlich. Die schrägen Gitter können entweder direkt in den Wellenleiter oder in einen Master-Stempel geätzt werden, der zur Herstellung des AR/MR-Displays mittels Nanoimprint-Lithografie (NIL) verwendet wird.

Das reaktive Ionenstrahlätzen (Reactive Ion Beam Etching, RIBE) eignet sich ideal zur Herstellung von Gitterstrukturen mit konstanten Neigungswinkeln. Die Verwendung reaktiver Gase im Ätzprozess ermöglicht es, die Selektivität verschiedener Oberflächenmaterialien einzustellen oder die Ätzrate zu erhöhen. Das Substrat lässt sich kippen, sodass es in einem Winkel von bis zu 60 Grad geätzt werden kann. Auf dem Substratmaterial ist oft eine Chrommaske aufgebracht, die die Gitterstrukturen definiert.

Um den Neigungswinkel und die Ätztiefe auf dem Substrat zu variieren, wird das so genannte Reaktive Ionenstrahltrimmen (Reactive Ion Beam Trimming, RIBT) verwendet. Bei der RIBT-Technologie scannt ein fokussierter breiter Ionenstrahl über die Oberfläche, wobei der Einfallswinkel und die Verweilzeit auf dem Substrat während des Ätzvorgangs variiert werden können. Dadurch lassen sich der Neigungswinkel der einzelnen Gräben sowie die Ätztiefe präzise steuern. Dies wiederum ermöglicht eine gleichmäßige Bildausleuchtung für den Träger der Brille.

scia Systems bietet für den RIBE- und auch für den RIBT-Prozess Lösungen zur Strukturierung von Waveguides und NIL Master-Stempeln an, sowohl für die industrielle Volumenproduktion als auch für Forschung und Entwicklung. Das 2013 gegründete Unternehmen ist Technologieführer für Vakuum-Prozessanlagen zur präzisen Oberflächenbearbeitung, die auf hochentwickelten Ionenstrahl- und Plasmatechnologien basieren. Die Systeme werden für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit nanometergenauer Präzision eingesetzt und haben sich in verschiedenen Hightech-Industrien weltweit bewährt, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie.

Besuchen Sie scia Systems auf der Optatec 2024

Besucher der Optatec, die mehr über scia Systems und unsere Produkte für die Herstellung von High-Tech-Optiken erfahren möchten, sind eingeladen, uns am Stand 715 in der Halle 3.1 zu besuchen.

• Weitere Informationen finden Sie unter: www.scia-systems.com/optik
   
• Erfahren Sie mehr über Ionenstrahl- und Plasmatechnologie.
   
• Haben sie noch Fragen? Unser Team hilft Ihnen gern weiter. Kontaktieren Sie uns!

Über scia Systems GmbH

scia Systems wurde 2013 gegründet und hat sich seitdem als Technologieführer im Bereich der Dünnschicht-Prozessausrüstung basierend auf fortschrittlichen Ionenstrahl- und Plasmatechnologien etabliert. Die Systeme werden für Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse mit Nanometerauflösung eingesetzt und wurden weltweit in verschiedenen High-Tech-Branchen erfolgreich eingesetzt, darunter in der Mikroelektronik-, MEMS- und Präzisionsoptikindustrie. Weitere Informationen finden Sie auf der Website des Unternehmens unter www.scia-systems.com.

Kontakt

scia Systems GmbH
Mandy Gebhardt 
Head of Marketing 
Tel.: +49 371 33561 322
E-Mail: m.gebhardt@scia-systems.com