Im Herzen des Wissenschaftsparks für Mikroelektronik in der Nanchang Hightech-Zone wurde im März 2022 die Runxin MEMS Technologies Co. Ltd. gegründet, eine neue industrielle Plattform für die MEMS-Produktion. Mitbegründer von Runxin MEMS Technologies ist CSMC, ein großes Halbleiterunternehmen, das bereits mehrere scia Trim 200-Systeme und eine scia Mill 200 einsetzt. Mit der Grünung von Runxin soll der Fokus auf den reinen MEMS-Markt gelegt werden. Hauptzweck der neuen Fabrik liegt dabei auf der Entwicklung und Herstellung von Sensoren für die Unterhaltungselektronik, die Automobilbranche, die Industrie und die Pharmaindustrie.

Um der rasanten Entwicklung dieser Branchen gerecht zu werden, erweitert Runxin seine Kapazitäten und greift dabei auf die guten Erfahrungen von CSMC zurück, indem sie sich für eine scia Trim 200 entscheiden. Mit Hilfe dieses Ionenstrahltrimmsystems soll vor allem die Produktion von BAW- und SAW-Filtern effizienter werden. Durch das Trimmen der Schichtdicken kann die Ausbeute an funktionalen Bauteilen auf bis zu 90% zu gesteigert werden.

Doch das ist nur der Anfang: Da mit Ionenstrahlen alle festen Materialen bearbeitet werden können, sind zukünftig auch noch viele weitere Anwendungsmöglichkeiten denkbar. Die scia Trim 200 ist für die Bearbeitung aller Wafertypen und -größen bis zu 200 mm geeignet. Für einen noch höheren Durchsatz hat sich Runxin für eine Doppelkammer-Konfiguration mit 2 Kassetten-Schleusen entschieden.

Die scia Trim 200 wird noch dieses Jahr ausgeliefert und in Nanchang City in der Provinz Jiangxi installiert.

Wir danken dem Unternehmen Runxin MEMS Technologies Co. Ltd für das entgegengebrachte Vertrauen und wünschen ihnen noch viel Erfolg bei ihrer Forschung und Produktion in der MEMS-Industrie. Ein besonderer Dank geht außerdem an unsere Partner von WESi für die gute Zusammenarbeit bei diesem Projekt.

• Weitere Informationen über die Anlage und die Anwendungsgebiete vom Ionenstrahlätzen finden Sie hier:  scia Trim 200.
   
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