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scia Mill 200 beschreitet den Weg zur chinesischen Spitzentechnologie

Wir freuen uns, den Verkauf einer Ionenstrahlätz-Anlage an eine weitere chinesische Top-C9-Universität bekannt geben zu dürfen: die Shanghai Jiao Tong University hat sich zu dem Kauf einer scia Mill 200 entschieden. Die Universität wurde 1896 in Shanghai gegründet und hat eine lange Geschichte in den Bereichen Ingenieur- und Managementwissenschaften. Mit rund 40.000 Studenten bietet die Universität Studienmöglichkeiten in neun Hauptdisziplinen: Wirtschaft, Recht, Literatur, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen, Landwirtschaft, Medizin, Management und Kunst.

scia Systems wird die SJTU in ihrem Ziel, eine "umfassende, innovative und internationale" Weltklasse-Universität zu werden, durch die Lieferung einer höchst flexiblen Ionenstrahl-Ätzanlage unterstützen. Die scia Mill 200 wird für homogenes reaktives (RIBE) und chemisch unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE) eingesetzt, um verschiedene Materialien auf Substraten bis zu 200 mm zu strukturieren.  Ein optisches Endpunkt-Detektionssystem vervollständigt das System und sorgt für die Erkennung der geätzten Materialien und die Einhaltung von definierten Ätzstopps. Darüber hinaus wird die Anlage so konfiguriert, dass es das homogene Ätzen von schrägen Oberflächenreliefgittern ermöglicht - eine Schlüsseltechnologie für den Einstieg in den Bereich der Augmented Reality (AR). Das System wird zunächst in Chemnitz gefertigt und wird in ca. 1 Jahr seine Reise nach China antreten.

Wir möchten uns bei STJU für die gute Zusammenarbeit bei diesem Projekt bedanken und wünschen der Universität und allen Mitarbeitern viel Erfolg bei ihrer innovativen Arbeit.