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Neues Anwendungsbeispiel: Abscheidung von GMR-Sensoren auf großen Flächen

App-Note

Magnetfeld­sensoren für flexible und tragbare Geräte sind in vielen Bereichen die Grundlage von Bewegungserkennung, z.B. Industrierobotik, über die Prothetik, bis hin zu Virtual- und Augmented-Reality-Anwendungen.

Sensoren, die auf dem Riesenmagnetowiderstandseffekt (Giant Magnetoresistance, GMR) beruhen, lassen sich mit Hilfe eines Polymerträgers auf Polymerfolien mit einer Materialdicke von 1 μm bis zu 150 μm drucken.

Diese GMR-Technologie stellt hohe Anforderungen an eine Beschichtungsanlage. So erfordern GMR-Stapel, die in der Regel aus mehreren, etwa 1 nm dicken Co- und Cu-Schichten bestehen (Abb. 1), eine Genauigkeit der Schichtdicke von besser als 0,1 nm. In unserer neuen Application Note geben wir einen Einblick in die Herstellung dieser Sensoren

Erfahren Sie mehr dazu in unserer Application Note.