Das Songshan Lake Material Laboratories (SLAB, https://en.sslab.org.cn) ist eines der ersten Labore in der Guangdong-Hong Kong-Macao Greater Bay Area. Im Jahr 2018 gegründet, ist SLAB bereits jetzt auf dem besten Weg, eine international anerkannte Institution im Bereich der Materialforschung und -entwicklung sowie eine Anlaufstelle für interdisziplinäre Forschung zu werden. scia Systems unterstützt diese Vision durch die Lieferung einer scia Mill 200 und einer scia Trim 200.

Mittels reaktivem Ionenstrahlätzen wird die scia Mill 200 eine Vielzahl unterschiedlicher Materialien auf Wafer-Ebene strukturieren. Die Flexibilität der in-situ einstellbaren Prozessparameter ermöglicht die Verwendung der Anlage für verschiedenste Anwendungen und Kunden.

Die scia Trim 200 wird für die präzise Oberflächenkorrektur von Wafern aus verschiedensten Materialien genutzt werden. Dabei können Substratgrößen im Bereich 2 Zoll (50 mm) bis 8 Zoll (200 mm) mittels inertem Argon-Ionenstrahltrimmen bearbeitet werden, um höchste Schichtdickenhomogenitäten zu erreichen. Beide Anlagen sind mit einer Schleusenkammer ausgerüstet, um den Durchsatz zu steigern und stabile Prozessbedingungen für höchste Wiederholbarkeitsanforderungen zu ermöglichen.

Wir danken SLAB für das entgegengebrachte Vertrauen und wünschen viel Erfolg bei der Weiterentwicklung der chinesischen Materialforschung. Außerdem danken wir unserem Partner WESi Technology Ltd. für ihre Unterstützung bei der Realisierung dieses bedeutsamen Projektes.