scia Mill 150 für die University of Leeds

scia Systems erhielt den Zuschlag bei der Ausschreibung einer Ionenstrahlätzanlage der School of Electronic and Electrical Engineering at the University of Leeds. Wir freuen uns der Universität mit der scia Mill 150 eine Anlage zu liefern, welche die nötige Flexibilität für die vielfältigen Anforderungen eines multidisziplinären Forschungsumfelds aufweist. Genutzt wird das System beispielsweise zum Ätzen von magnetischen Nanosystemen und GMR-Schichtstapeln, III-V-Halbleitern für photonische Anwendungen und Quarz-Nanoimprint-Stempeln sowie für das reaktive Ätzen. Mit ihrer Einzelsubstratschleuse ist sowohl die Beladung mit Substraten von bis zu 150 mm als auch von Carriern für mehrere kleine Proben möglich. Durch ihre Reaktivgaskompatibilität ermöglicht die scia Mill 150 zudem Prozesse mit fluor- und chlorhaltigen Gasen. Optional bietet das System auch Upgrade-Möglichkeiten, zum Beispiel mit einem SIMS zur Endpunktdetektion.

Eines der Forschungsgebiete der Universität betrifft künstliches Spin-Eis, bei dem es sich um geometrisch frustrierte magnetische Systeme handelt. Die scia Mill 150 kann dabei unter anderem dafür genutzt werden, das ferromagnetische Material (FM) zu strukturieren, z. B. durch das Ätzen kleiner Inseln in die FM-Schicht.