scia Multi 500: Unsere neue Anlage für Multilagenbeschichtungen auf großen optischen Substraten

Unsere neuste Magnetronsputteranlage scia Multi 500 wurde speziell für die Multilagenbeschichtungen von Optiken mit (Sub-)Nanometergenauigkeit entwickelt. Übliche Einsatzgebiete für das System sind Mehrlagenbeschichtungen für die UV-Lithographie und Röntgenanwendungen.

In einem linearen Inline-Beschichtungsaufbau mit Schleusen an beiden Enden bewegt sich das vertikal ausgerichtete Substrat vor sechs Magnetrons mit unterschiedlichen Targetmaterialien sowie einer optionalen Ionenquelle zur Oberflächenbearbeitung. Durch die präzise Positionierung des Substrats und eine synchronisierte lineare Bewegung und Rotation werden Gradientenschichten und eine hervorragende Homogenität der Abscheidung erreicht..

 

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