scia Multi 300: Multilagenbeschichtung für Wafer bis 300 mm durch Magnetronsputtern

scia Multi 300

Die scia Multi 300 ist die neue Magnetronsputteranlage von scia Systems und wurde speziell zur Herstellung hochwertiger Multilagenbeschichtungen auf Wafern bis zu 300 mm entwickelt.

Die gleichzeitige orbitale und Spinrotation sorgt für eine ausgezeichneter Homogenität und sehr gute Reproduzierbarkeit, während die Positionierung der Substrate kopfüber (face-down) eine minimale Partikelbelastung sicherstellt. Mit bis zu vier Magnetrons lassen sich präzise Mehrschicht-Stapel aus vier Targetmaterialien erzeugen, ohne das Vakuum zu unterbrechen

Die scia Multi 300 wird bereits jetzt schon vom Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) zur Herstellung formbarer Magnetoelektronik verwendet. Die produzierten flexiblen Magnetsensoren werden unter anderem in der Unterhaltungselektronik als Steuersensoren, im Internet of Things (IOT) oder in smarten Implantaten verwendet.

 

Zurück