scia Opto 300: Präzisionsbeschichtungen auf Optiken mit bis zu 300 mm Durchmesser

Bei der Fertigung von Präzisionsoptiken sind die Anforderungen an Schichtdicke, Brechungsindex, Schichtspannungen und die daraus resultierende Laserzerstörschwelle der Beschichtungen oft so hoch, dass diese nur durch Ionenstrahlsputtern erreicht werden können. Unser neuestes System, die scia Opto 300, wurde speziell dafür entwickelt, bestmögliche Schichteigenschaften auf 300-mm-Substraten zu garantieren und damit die Herstellung von Präzisionsoptiken auf ein neues Niveau zu heben.

Mit bis zu 6 Targets ist die scia Opto 300 das ideale System für flexible Abscheidungen von Multilagen, Mischschichten und sogar Gradientenschichten. Daher eignet sie sich zum Beispiel auch für die Herstellung von Rugate-Filtern mit Brechungsindexgradienten. Die Substratschleuse mit zwei Beladepositionen ermöglicht einen kontinuierlichen automatisierten Beschichtungsbetrieb ohne eine Unterbrechung des Vakuums in der Beschichtungskammer und die optische in-situ Messung mit integriertem Testglaswechsler sorgt für höchste Präzision und Reproduzierbarkeit. Die hervorragende Homogenität der Beschichtungen erreicht man ohne den Einsatz eines Shapers, was das Risiko von Partikeln drastisch reduziert.

Neben optischen Beschichtungen kann die scia Opto 300 auch für hochwertige Beschichtungen für andere Anwendungen eingesetzt werden, wie zum Beispiel Metallkontakte, Keimschichten, Barriereschichten und Beschichtungen auf temperaturempfindlichen Substraten auf einer Beschichtungsfläche bis zu 300 mm.

 

Weitere Informationen und die technischen Daten finden Sie hier: Produktinformationen

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